[实用新型]一种扩散炉设备保护隔板

说明书

本实用新型公开了一种扩散炉设备保护隔板，所述碳化硅桨下方设置有隔板，所述隔板固定连接于炉侧壁上，且隔板远离炉侧壁一侧固定连接有侧挡板，所述隔板下方固定连接有支撑杆，所述支撑杆与固定杆固定连接，所述固定杆与炉侧壁固定连接，所述隔板靠近碳化硅桨一侧开设有凹槽，所述凹槽中依次活动设置有上层板和下层板。本实用新型解决了现有扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上，导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片，从而影响产线产能和财产损失导致车间成本的问题，有效的避免影响车间产能和财产损失导致的成本上升。

技术领域

本实用新型涉及硅片扩散技术领域，具体为一种扩散炉设备保护隔板。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。目前常见的是水平扩散炉，进出舟系统采用软着陆系统。软着陆系统SiC浆(碳化硅桨)进入石英工艺炉管后，桨自动下沉放下石英舟和硅片，然后慢慢运行回原点，最后石英炉管的门自动关闭。软着陆系统优点是没有SiC桨对腔体的影响，使得温度均匀性更好，减少了工艺气体在SiC桨上的沉积，从而颗粒更少。

现有技术中，业界使用CT常压扩散炉都存在扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上，导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片这些事故风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散炉设备保护隔板，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种扩散炉设备保护隔板，包括炉口壁和炉侧壁，所述炉口壁上开设有炉门，所述炉侧壁上开设有底座滑道，所述底座滑道中移动设置有桨水平电机，所述桨水平电机固定连接有桨底座，所述桨底座靠近炉门一侧固定夹持有碳化硅桨，所述碳化硅桨远离桨底座一端连接有石英舟，所述石英舟上设置有硅片，所述碳化硅桨下方设置有隔板，所述隔板固定连接于炉侧壁上，且隔板远离炉侧壁一侧固定连接有侧挡板。

优选的，所述隔板下方固定连接有支撑杆，所述支撑杆与固定杆固定连接，所述固定杆与炉侧壁固定连接。

优选的，所述支撑杆与隔板通过紧固螺钉连接，所述炉侧壁与固定杆通过紧固螺钉连接。

优选的，所述隔板靠近碳化硅桨一侧开设有凹槽，所述凹槽中依次活动设置有上层板和下层板，所述上层板中开设有上板通孔，所述下层板中开设有下板通孔，所述上板通孔和下板通孔呈相互交错设置，且所述凹槽内侧壁在靠近侧挡板一端贯通开设有散热孔。

优选的，所述凹槽内侧壁开设有侧壁槽，所述侧壁槽中依次活动设置有上压板和下压板，所述上压板与上层板固定连接，所述下压板与下层板固定连接，所述上压板和下压板之间通过缓冲弹簧连接，所述下压板通过固定弹簧连接于侧壁槽底壁上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型解决了现有扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上，导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片，从而影响产线产能和财产损失导致车间成本的问题，使得保护隔板能有效的保护下方的石英舟、硅片和浆不受二次伤害，有效的避免影响车间产能和财产损失导致的成本上升。