[实用新型]一种用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置

摘要

本实用新型公开了一种用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，包括传送装置本体和刻蚀机本体，传送装置本体和刻蚀机本体之间连接有防尘装置，防尘装置包括第一支撑装置，第一支撑装置包括第一支撑板和第二支撑装置，第一支撑板内设有中空的支撑槽，第二支撑装置包括连接板和连接块，连接块和连接板一体成型，连接块位于连接板的一端，连接板滑动连接在支撑槽内；第一支撑板的前后端分别固定有第一防尘板和第二防尘板，第一防尘板和第二防尘板的结构相同，第一防尘板的宽度和第一支撑板的宽度相同；第一防尘板、第二防尘板和第一支撑板共同作用将两机台连接处进行密封，防止两机台连接处进入灰尘，提高了硅片生产的安全性问题。