[实用新型]一种用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置

权利要求书

1.一种用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，包括传送装置本体和刻蚀机本体，其特征在于，所述传送装置本体和刻蚀机本体之间连接有防尘装置，所述防尘装置包括：

第一支撑装置，包括第一支撑板和第二支撑装置，所述第一支撑板内设有中空的支撑槽，所述第二支撑装置包括连接板和连接块，所述连接块和连接板一体成型，所述连接块位于所述连接板的一端，所述连接板滑动连接在所述支撑槽内，所述连接块的底面和所述第一支撑板的底面在同一水平面上；

所述第一支撑板的前后端分别固定有第一防尘板和第二防尘板，所述第一防尘板和所述第二防尘板的结构相同，所述第一防尘板的宽度和所述第一支撑板的宽度相同。

2.根据权利要求1所述的用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，其特征在于，所述第一防尘板和所述第二防尘板上均设有观察窗，还设有和观察窗相适配的挡窗装置，所述挡窗装置包括第二上固定座和挡窗板，所述第二上固定座固定在所述观察窗的上方，所述挡窗板滑动连接在所述第二上固定座内。

3.根据权利要求1所述的用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，其特征在于，所述第一防尘板和所述第二防尘板上均设有第三防尘装置，所述第三防尘装置包括第一上固定座、下固定座和防尘挡板，所述防尘挡板滑动连接在所述第一上固定座和下固定座之间。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，其特征在于，所述第一防尘板和所述第二防尘板的材质为聚乙烯。

5.根据权利要求1所述的用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，其特征在于，所述第一支撑板的材质为铝合金。

6.根据权利要求1所述的用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，其特征在于，还包括两块磁铁，其中一个所述磁铁固定在所述第一支撑板底面的左端，另一个所述磁铁固定在所述连接块的底面。

7.根据权利要求1所述的用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，其特征在于，所述第一支撑板的底面还设有连接座，所述连接座上安装有激光位移传感器。