[实用新型]一种用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置

说明书

本实用新型公开了一种用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，包括传送装置本体和刻蚀机本体，传送装置本体和刻蚀机本体之间连接有防尘装置，防尘装置包括第一支撑装置，第一支撑装置包括第一支撑板和第二支撑装置，第一支撑板内设有中空的支撑槽，第二支撑装置包括连接板和连接块，连接块和连接板一体成型，连接块位于连接板的一端，连接板滑动连接在支撑槽内；第一支撑板的前后端分别固定有第一防尘板和第二防尘板，第一防尘板和第二防尘板的结构相同，第一防尘板的宽度和第一支撑板的宽度相同；第一防尘板、第二防尘板和第一支撑板共同作用将两机台连接处进行密封，防止两机台连接处进入灰尘，提高了硅片生产的安全性问题。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产制造技术领域，具体涉及一种用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置。

背景技术

太阳能因其特殊性，作为新能源大家庭中的一员，越来越受到关注。转化效率是太阳能电池的核心竞争力，为了提高太阳能电池的转化效率，各种高效电池技术获得蓬勃发展，由于PERC技术与产线原有设备良好的兼容性，只需增加少量设备，效率就可以获得较大提高，因此，PERC电池产能扩张迅速。

PERC即钝化发射极和背面电池技术。在太阳能电池背面镀上一层氧化铝及氮化硅，提高钝化效果来达到提高太阳能电池转化效率的目的。此类电池对车间洁净度要求较高。太阳能电池生产车间，因为一些原因，不能做到无尘化生产，粉尘附着在硅片表面，会成为复合中心，在制成太阳能电池后，极易形成EL黑点状不良，此类不良影响太阳能电池电性能，因太阳能电池长期寿命设计，此类不良对太阳能电池可靠性也带来风险。因此，为了避免此风险，需尽可能避免粉尘的污染。

在目前的生产中，为了降低人力成本及高效电池生产要求提高，各公司大力引进自动化，刻蚀后若有灰尘落在硅片上，极易造成EL黑点不良，虽然刻蚀机台和自动化传送机台各自均有较好的灰尘防护措施，但是两个机台结合部存在一段无防护状态，此处仍存在灰尘污染的可能。如何能解决两机台间的防护问题，是我司研究人员关心的问题之一。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，以解决现有技术中刻蚀机台和传送机台之间无防尘装置导致对硅片污染的问题。

为达到上述目的，本实用新型是采用下述技术方案实现的：

一种用于刻蚀机和传送装置间的防尘装置，包括传送装置本体和刻蚀机本体，所述传送装置本体和刻蚀机本体之间连接有防尘装置，所述防尘装置包括第一支撑装置，包括第一支撑板和第二支撑装置，所述第一支撑板内设有中空的支撑槽，所述第二支撑装置包括连接板和连接块，所述连接块和连接板一体成型，所述连接块位于所述连接板的一端，所述连接板滑动连接在所述支撑槽内，所述连接块的底面和所述第一支撑板的底面在同一水平面上；所述第一支撑板的前后端分别固定有第一防尘板和第二防尘板，所述第一防尘板和所述第二防尘板的结构相同，所述第一防尘板的宽度和所述第一支撑板的宽度相同。

进一步的，所述第一防尘板和所述第二防尘板上均设有观察窗，还设有和观察窗相适配的挡窗装置，所述挡窗装置包括第二上固定座和挡窗板，所述第二上固定座固定在所述观察窗的上方，所述挡窗板滑动连接在所述第二上固定座内。

进一步的，所述第一防尘板和所述第二防尘板上均设有第三防尘装置，所述第三防尘装置包括第一上固定座、下固定座和防尘挡板，所述防尘挡板滑动连接在所述第一上固定座和下固定座之间。

进一步的，所述第一防尘板和所述第二防尘板的材质为聚乙烯。

进一步的，所述第一支撑板的材质为铝合金。

进一步的，还包括两块磁铁，其中一个所述磁铁固定在所述第一支撑板底面的左端，另一个所述磁铁固定在所述连接块的底面。

进一步的，所述第一支撑板的底面还设有连接座，所述连接座上安装有激光位移传感器。

本实用新型的优点在于：