[实用新型]一种单晶炉有效
| 申请号： | 201920914475.X | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN210367996U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 赵常福;马振中;陈海云 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 755199 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种单晶炉，单晶炉包括炉体和气体循环装置，气体循环装置包括贯通管、真空泵和循环管；炉体的炉盖上开设有连通所述炉体内外的通孔；贯通管穿过所述通孔伸入炉体内部，真空泵的入口与炉体的排气管道的出口连接，真空泵的出口与循环管的一端连接；循环管的另一端和贯通管连接。本实用新型实施例中的单晶炉可以实现氩气的循环利用，无需监控氩气消耗情况，可缩短热交换时间，加快冷却效率，并且还有助于节省氩气使用量及成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】：
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