[实用新型]一种单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括炉体和气体循环装置，所述气体循环装置包括贯通管、真空泵和循环管；

所述炉体的炉盖上开设有连通所述炉体内外的通孔；

所述贯通管穿过所述通孔伸入所述炉体内部；

所述真空泵的入口与所述炉体的排气管道的出口连接，所述真空泵的出口与所述循环管的一端连接；

所述循环管的另一端和所述贯通管连接。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，

所述贯通管的长度大于所述通孔至所述炉体内的坩埚底部的距离。

3.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述气体循环装置还包括相连接的气源和三通接头；

所述气源向所述炉体供应气体，所述气源连接于所述三通接头的第一开口，所述三通接头的第二开口与所述循环管远离所述真空泵的一端连接，所述三通接头的第三开口与所述贯通管连接。

4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，所述气体循环装置还包括密封波纹管；

所述密封波纹管套设于所述贯通管暴露于所述炉体外的部分，所述密封波纹管的一端与所述第三开口连接，所述密封波纹管的另一端与所述通孔连接。

5.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述气体循环装置还包括伸缩组件；

所述贯通管通过所述伸缩组件与所述炉体活动连接。

6.根据权利要求5所述的单晶炉，其特征在于，

所述伸缩组件为丝杠滑块组件、电动气缸组件、齿轮齿条组件中任意一种组件。

7.根据权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，

所述丝杠滑块组件包括滚珠丝杠、滑块支架和驱动电机；

所述滑块支架与所述滚珠丝杠通过螺纹连接，所述驱动电机的输出轴与所述滚珠丝杠固定连接；

所述贯通管与所述滑块支架固定连接，所述滚珠丝杠与所述炉体固定连接。

8.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述气体循环装置还包括阀门开关，所述阀门开关设置在循环管上。

9.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述气体循环装置还包括过滤器；

所述过滤器连接于所述炉体与所述真空泵之间，所述过滤器的入口与所述炉体的排气管道的出口连接，所述过滤器的出口与所述真空泵的入口连接。

10.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，

所述循环管为双层中空水冷结构，所述循环管包括同轴安装的内套管和外套管，所述内套管的外径小于所述外套管的内径，所述内套管的外壁和所述外套管的内壁之间具有间隙。