[实用新型]一种单晶炉

说明书

本实用新型实施例提供了一种单晶炉，单晶炉包括炉体和气体循环装置，气体循环装置包括贯通管、真空泵和循环管；炉体的炉盖上开设有连通所述炉体内外的通孔；贯通管穿过所述通孔伸入炉体内部，真空泵的入口与炉体的排气管道的出口连接，真空泵的出口与循环管的一端连接；循环管的另一端和贯通管连接。本实用新型实施例中的单晶炉可以实现氩气的循环利用，无需监控氩气消耗情况，可缩短热交换时间，加快冷却效率，并且还有助于节省氩气使用量及成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造领域，特别是涉及一种单晶炉。

背景技术

为了制造单晶硅，常用的一种方法是直拉法，将固态多晶硅盛放在单晶炉的石英坩埚内，用石墨加热器通过辐射将该多晶硅加热熔化成液体熔硅，然后采用直拉的方法，将熔硅生长成单晶硅棒。在单晶生长的过程中，需要通入氩气，利用氩气带走晶体生长时液体硅凝固成固体硅产生的结晶潜热，同时将产生的SiO从单晶炉底的排气管道排出。当单晶硅棒生长结束后，单晶炉内温度还较高，为了防止高温的单晶炉热场材料接触氧气后氧化，损伤热场材料寿命，在拉晶结束后需停炉冷却一段时间，再进行清理工作。

发明人在研究上述现有技术的过程中发现，上述现有技术方案存在如下缺点：现有冷却措施，需要额外不断充入新鲜氩气，导致冷却过程耗时较长，冷却效率较低。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉，旨在解决现有单晶炉冷却过程耗时较长，冷却效率低的问题。

本实用新型实施例提供了一种单晶炉，所述单晶炉包括炉体和气体循环装置，所述气体循环装置包括贯通管、真空泵和循环管；

所述炉体的炉盖上开设有连通所述炉体内外的通孔；

所述贯通管穿过所述通孔伸入所述炉体；

所述真空泵的入口与所述炉体的排气管道的出口连接，所述真空泵的出口与所述循环管的一端连接；

所述循环管的另一端和所述贯通管连接。

可选的，所述贯通管的长度大于所述通孔至所述炉体内的坩埚底部的距离。

可选的，所述气体循环装置还包括相连接的气源和三通接头；

所述气源向所述炉体供应气体，所述气源连接于所述三通接头的第一开口，所述三通接头的第二开口与所述循环管远离所述真空泵的一端连接，所述三通接头的第三开口与所述贯通管连接。

可选的，所述气体循环装置还包括密封波纹管；

所述密封波纹管套设于所述贯通管的外部暴露于所述炉体外的部分，所述密封波纹管的一端与所述第三开口连接，所述密封波纹管的另一端与所述通孔连接。

可选的，所述气体循环装置还包括伸缩组件；

所述贯通管通过所述伸缩组件与所述炉体活动连接。

可选的，所述伸缩组件为丝杠滑块组件、电动气缸组件、齿轮齿条组件中任意一种组件。

可选的，所述丝杠滑块组件包括滚珠丝杠、滑块支架和驱动电机；

所述滑块支架与所述滚珠丝杠通过螺纹连接，所述驱动电机的输出轴与所述滚珠丝杠固定连接；

所述贯通管与所述滑块支架固定连接，所述滚珠丝杠与所述炉体固定连接。

可选的，所述气体循环装置还包括阀门开关，所述阀门开关设置在循环管上。

可选的，所述气体循环装置还包括过滤器；

所述过滤器连接于所述炉体与所述真空泵之间，所述过滤器的入口与所述炉体的排气管道的出口连接，所述过滤器的出口与所述真空泵的入口连接。