[实用新型]一种晶圆检测用除尘过滤装置有效
| 申请号： | 201920881147.4 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN210171068U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 孙军 | 申请（专利权）人： | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/30 | 分类号： | B01D46/30;B01D53/26;B08B5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆检测，公开了一种晶圆检测用除尘过滤装置，其技术方案要点是包括高压存储罐，高压存储罐上接通有输送管道，输送管道上连接有空气净化箱，空气净化箱上连接有通气管，通气管与输送管道位于空气净化箱相对的两侧壁上，通气管上连接有吹尘枪，空气净化箱内设有空气过滤棉，空气过滤棉垂直于通气管与输送管道之间的连线。本实用新型具有能够对输送管道和高压存储罐内的异物进行过滤，减少喷向晶圆的高速气流中的异物，在对晶圆表面的异物进行清理时，降低高压气流中的异物对晶圆造成影响的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 除尘 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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