[实用新型]一种晶圆检测用除尘过滤装置

说明书

本实用新型涉及晶圆检测，公开了一种晶圆检测用除尘过滤装置，其技术方案要点是包括高压存储罐，高压存储罐上接通有输送管道，输送管道上连接有空气净化箱，空气净化箱上连接有通气管，通气管与输送管道位于空气净化箱相对的两侧壁上，通气管上连接有吹尘枪，空气净化箱内设有空气过滤棉，空气过滤棉垂直于通气管与输送管道之间的连线。本实用新型具有能够对输送管道和高压存储罐内的异物进行过滤，减少喷向晶圆的高速气流中的异物，在对晶圆表面的异物进行清理时，降低高压气流中的异物对晶圆造成影响的优点。

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测，特别涉及一种晶圆检测用除尘过滤装置。

背景技术

半导体集成电路制造过程中，晶圆是最常用的半导体材料，晶圆经过特定工艺生产出来后，需要对晶圆进行检测以确定该产品是否合格。晶圆探针台是一种对成型后的晶圆进行检测，并判定晶圆是否合格的一种工业设备，其广泛应用于半导体行业、集成电路以及封装测试行业。

目前，公开号CN109633220A的中国专利公开了一种预吹洗式晶圆探针台，包括检测台和设置在检测台一侧的机箱，机箱背离检测台的一侧连通有密封的吹洗仓，吹洗仓的底部设有滑移轨道，滑移轨道朝向机箱的一端转动连接有从动带轮，滑移轨道远离机箱的一端转动连接有主动带轮，主动带轮和从动带轮之间连接有传送皮带，主动带轮连接有驱动电机，滑移轨道上滑移连接有支撑板，支撑板下方经过螺栓连接于传送皮带，支撑板上设有推进气缸，推进气缸的伸缩杆朝向机箱，吹洗仓远离机箱的一端开有放料口，放料口上铰接有封闭门，吹洗仓远离机箱的腔室内设有喷淋环组，喷淋环组固定连接在吹洗仓内侧壁的顶部，在地面上设有用于存储晶圆清洗气体的高压存储罐，高压存储罐与喷淋环组之间连通有输送管道，输送管道上连接有启闭阀。

这种预吹式晶圆探针台在工作时，盛放有晶圆的晶圆盒通过支撑板朝向机箱移动，移动过程中，晶圆盒首先经过喷淋环组处，喷淋换组抽取高压存储罐内的晶圆清洗气体，并朝向晶圆盒内的晶圆喷射，从而实现对晶圆表面异物的清理。但是在实际使用过程中，输送管道会因为长久使用产生老化现象，其管道内壁会脱皮产生异物，同时输送管道和高压存储罐内可能存在其他异物。这些异物会随着高速气流喷向晶圆的表面，进而对晶圆的质量产生影响，甚至导致晶圆的不合格。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆检测用除尘过滤装置，具有能够对气流中的异物进行过滤的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种晶圆检测用除尘过滤装置，包括高压存储罐，高压存储罐上接通有输送管道，输送管道上连接有空气净化箱，空气净化箱上连接有通气管，通气管与输送管道位于空气净化箱相对的两侧壁上，通气管上连接有吹尘枪，空气净化箱内设有空气过滤棉，空气过滤棉垂直于通气管与输送管道之间的连线。

通过采用上述技术方案，工作人员操作吹尘枪对晶圆表面的异物进行清理时，高压存储罐内的高压气体依次通过输送管道、空气净化箱和通气管进入到吹尘枪内。空气过滤棉能够对高压气体中掺杂的异物进行过滤，提高从吹尘枪中喷出的高压气体的清洁度，在清理晶圆时，降低了气流中杂质对晶圆的影响。

进一步的，空气净化箱内设有吸油棉，吸油棉位于空气净化箱靠近输送管道的一侧。

通过采用上述技术方案，吸油棉能够对气体中的油污进行过滤，以此进一步提高了空气的洁净程度。

进一步的，空气净化箱内设有呈颗粒状的干燥剂，干燥剂放置于吸油棉和空气过滤棉之间。

通过采用上述技术方案，高压存储罐和输送管道内的空气中会存在一些水气，干燥剂能够对这些水气进行吸收，从而达到干燥空气的目的，减少空气中的水分对晶圆的影响。