[实用新型]一种晶圆检测用除尘过滤装置

权利要求书

1.一种晶圆检测用除尘过滤装置，包括高压存储罐(1)，高压存储罐(1)上接通有输送管道(2)，其特征在于：输送管道(2)上连接有空气净化箱(3)，空气净化箱(3)上连接有通气管(4)，通气管(4)与输送管道(2)位于空气净化箱(3)相对的两侧壁上，通气管(4)上连接有吹尘枪(5)，空气净化箱(3)内设有空气过滤棉(33)，空气过滤棉(33)垂直于通气管(4)与输送管道(2)之间的连线。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘过滤装置，其特征在于：空气净化箱(3)内设有吸油棉(31)，吸油棉(31)位于空气净化箱(3)靠近输送管道(2)的一侧。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测用除尘过滤装置，其特征在于：空气净化箱(3)内设有呈颗粒状的干燥剂(32)，干燥剂(32)放置于吸油棉(31)和空气过滤棉(33)之间。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测用除尘过滤装置，其特征在于：空气净化箱(3)内设有加强框(9)，空气过滤棉(33)、干燥剂(32)和吸油棉(31)三者分别放置在加强框(9)内，空气净化箱(3)的内侧壁开有用于容纳加强框(9)的卡槽(8)，空气净化箱(3)的一侧壁开有更换口(6)，更换口(6)上铰接有密封门板(7)，密封门板(7)和空气净化箱(3)的侧壁之间连接有搭扣锁(14)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘过滤装置，其特征在于：输送管道(2)的管身上连接有通气阀(10)。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆检测用除尘过滤装置，其特征在于：密封门板(7)上固定嵌设有用于观察空气净化箱(3)内部的玻璃窗(16)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘过滤装置，其特征在于：吹尘枪(5)的枪嘴螺纹连接有密封盖(13)。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘过滤装置，其特征在于：更换口(6)的四周粘贴有密封橡胶垫(11)。