[实用新型]一种光刻胶涂覆承片装置

摘要

本实用新型一种光刻胶涂覆承片装置属于微纳光机电元件生产设备领域；该光刻胶涂覆承片装置包括同轴设置的承片托盘、外部套管、内部套管、移动套管、弹簧和底座；所述承片托盘的外缘具有圆角过渡，承片托盘的上表面有开口和通孔，所述开口的尺寸与待涂胶基片相同，所述通孔用于安装内部套管和移动套管；承片托盘与外部套管刚性连接；所述弹簧缠绕于所述内部套管，且位于移动套管与所述底座之间；所述外部套管、内部套管以及可移动套管通过固定销钉保持固定状态；本申请光刻胶涂覆承片装置既可以保证光刻胶涂覆厚度的均一性，又可以避免由于基片形状及气流原因造成顶角厚胶的现象，还具有方便卸片的技术优势。

主权项

1.一种光刻胶涂覆承片装置，其特征在于，包括同轴设置的承片托盘(1)、外部套管(2)、内部套管(3)、移动套管(4)、弹簧(5)和底座(6)；所述承片托盘(1)的外缘(13)具有圆角过渡，承片托盘(1)的上表面(11)有开口(12)和通孔(14)，所述开口(12)的尺寸与待涂胶基片相同，所述通孔(14)用于安装内部套管(3)和移动套管(4)；承片托盘(1)与外部套管(2)刚性连接，承片托盘(1)、外部套管(2)、内部套管(3)、移动套管(4)、弹簧(5)和底座(6)之间的配合关系为：承片托盘(1)与移动套管(4)间隙配合；外部套管(2)与移动套管(4)间隙配合；外部套管(2)与底座(6)过盈配合；内部套管(3)与移动套管(4)间隙配合；内部套管(3)与底座(6)过盈配合；所述弹簧(5)缠绕于所述内部套管(3)，且位于移动套管(4)与所述底座(6)之间；所述外部套管(2)、内部套管(3)以及可移动套管(4)通过固定销钉(7)保持固定状态；内部套管(3)的顶部(31)与开口(12)的下表面(121)在同一平面或内部套管(3)的顶部(31)低于开口(12)的下表面(121)；移动套管(4)在弹簧(5)压缩状态下由固定销钉(7)固定，移动套管(4)上表面高度不高于承片托盘(1)的开口(12)的下表面(121)高度；撤掉固定销钉(7)，移动套管(4)在弹簧(5)的作用下能够向上移动，移动高度高于开口(12)的深度。/n