[实用新型]一种光刻胶涂覆承片装置有效
| 申请号： | 201920861750.6 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN209674179U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 金光国;徐松 | 申请（专利权）人： | 苏州麦田光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 23209 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李思奇<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215006 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 承片 托盘 内部套管 光刻胶 涂覆 外部套管 移动套管 弹簧 底座 通孔 开口 本实用新型 待涂胶基片 可移动套管 刚性连接 固定销钉 固定状态 基片形状 技术优势 设备领域 同轴设置 元件生产 圆角过渡 均一性 上表面 顶角 厚胶 卸片 缠绕 申请 保证 | ||
1.一种光刻胶涂覆承片装置，其特征在于，包括同轴设置的承片托盘(1)、外部套管(2)、内部套管(3)、移动套管(4)、弹簧(5)和底座(6)；所述承片托盘(1)的外缘(13)具有圆角过渡，承片托盘(1)的上表面(11)有开口(12)和通孔(14)，所述开口(12)的尺寸与待涂胶基片相同，所述通孔(14)用于安装内部套管(3)和移动套管(4)；承片托盘(1)与外部套管(2)刚性连接，承片托盘(1)、外部套管(2)、内部套管(3)、移动套管(4)、弹簧(5)和底座(6)之间的配合关系为：承片托盘(1)与移动套管(4)间隙配合；外部套管(2)与移动套管(4)间隙配合；外部套管(2)与底座(6)过盈配合；内部套管(3)与移动套管(4)间隙配合；内部套管(3)与底座(6)过盈配合；所述弹簧(5)缠绕于所述内部套管(3)，且位于移动套管(4)与所述底座(6)之间；所述外部套管(2)、内部套管(3)以及可移动套管(4)通过固定销钉(7)保持固定状态；内部套管(3)的顶部(31)与开口(12)的下表面(121)在同一平面或内部套管(3)的顶部(31)低于开口(12)的下表面(121)；移动套管(4)在弹簧(5)压缩状态下由固定销钉(7)固定，移动套管(4)上表面高度不高于承片托盘(1)的开口(12)的下表面(121)高度；撤掉固定销钉(7)，移动套管(4)在弹簧(5)的作用下能够向上移动，移动高度高于开口(12)的深度。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆承片装置，其特征在于，所述弹簧(5)为螺旋压缩弹簧，其内径大于内部套管(3)的外径，其外径小于外部套管(2)的内径。
3.根据权利要求1或2所述的一种光刻胶涂覆承片装置，其特征在于，所述底座(6)底部具有一适配口(61)，用于与旋涂机接口适配。
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