[实用新型]掩膜板检查设备

摘要

本实用新型公开了掩膜板检查设备，包括工作台和位移机构，所述位移机构安装在工作台的上端，所述位移机构和工作台通过螺母固定连接，通过在工作台上的位移机构上增加有一个聚光辅助装置，且该聚光辅助装置略高出检测台且安装在检测台平行左侧的位移机构上，该新型的聚光辅助装置可以通过接受照明摄像检测模组检验讯号而驱使该位移机构朝检测台方向进行位移，以使得该聚光辅助装置趋近于检测台上的被检测的掩膜板，从而使得被检测的掩膜板通过聚光灯珠的聚光照明作用能够被检测的更加具体清晰，从而通过聚光灯珠的辅助照明能够辅助照明摄像检测模组能够依序摄取掩膜板上的数据。