[实用新型]掩膜板检查设备

说明书

本实用新型公开了掩膜板检查设备，包括工作台和位移机构，所述位移机构安装在工作台的上端，所述位移机构和工作台通过螺母固定连接，通过在工作台上的位移机构上增加有一个聚光辅助装置，且该聚光辅助装置略高出检测台且安装在检测台平行左侧的位移机构上，该新型的聚光辅助装置可以通过接受照明摄像检测模组检验讯号而驱使该位移机构朝检测台方向进行位移，以使得该聚光辅助装置趋近于检测台上的被检测的掩膜板，从而使得被检测的掩膜板通过聚光灯珠的聚光照明作用能够被检测的更加具体清晰，从而通过聚光灯珠的辅助照明能够辅助照明摄像检测模组能够依序摄取掩膜板上的数据。

技术领域

本实用新型属于掩膜板相关技术领域，具体涉及掩膜板检查设备。

背景技术

光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构，掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC（Integrated Circuit，集成电路）、FPD（Flat Panel Display，平板显示器）、PCB（Printed Circuit Boards，印刷电路板）、MEMS（Micro ElectroMechanical Systems，微机电系统）等。

公开号为208420016U的专利文件公开了一种半导体光检测设备，该半导体光检测设备，通过传动电机带动主动传动轮和从动传动轮传动连接，使得传送带运动，从而使得物件在传送带顶部运动，结构简单，操作便捷，节省手工搬运的时间，提高工作效率，但是现有的掩膜板检查设备在进行检测时都是直接把掩膜板放置在检测台上然后经由照明摄像检测模块进行照明摄像检测操作，而在此之前不能通过其它设备对检测台进行检查是否有异物存在，这样则会容易造成被照明摄像检测模块摄取的影像上会还有没有清除的异物，从而会增加检测的难度以及会影响到检测的结果；2、在对掩膜板进行检测时通过直接放置的方式也极易产生掩膜板在被检测时产生位移，而没有一个对掩膜板进行稳定放置的装置对其进行保护，这样也会容易造成掩膜板在检测时因为微小位移而影响到照明摄像检测模块的摄像结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供掩膜板检查设备，以解决上述背景技术中提出的在检测之前不能通过其它设备对检测台进行检查是否有异物存在，这样则会容易造成被照明摄像检测模块摄取的影像上会还有没有清除的异物，从而会增加检测的难度以及会影响到检测的结果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：掩膜板检查设备，包括工作台和位移机构，所述位移机构安装在工作台的上端，所述位移机构和工作台通过螺母固定连接，所述工作台最后侧上端两角处均设置有支柱，两个所述支柱和检测台通过焊接固定连接，两个所述支柱的上端连接有连接横板，所述位移机构上端靠左侧设置有聚光辅助装置，所述位移机构的上端连接有工作基座，所述聚光辅助装置设置在工作基座的左侧，所述工作基座的上端连接有承载台，所述承载台的上端连接有横向平放的检测台，所述检测台上端外壁左右两侧均连接有稳定保护装置，所述检测台的正上方设置有照明摄像检测模组，所述照明摄像检测模组的后端连接有升降机构，所述升降机构的后端连接在连接横板的前端外壁上。

优选的，所述聚光辅助装置上设置有滑杆，所述滑杆的最下端连接在位移机构上，所述滑杆的最上端连接有横向的连接横杆，所述连接横杆的前端周长外部套接有平移滑套，所述平移滑套的前端连接有探照杆，所述平移滑套和探照杆通过焊接固定连接，所述探照杆的最前端连接有聚光灯珠。

优选的，所述稳定保护装置上设置有四个固定插孔，四个所述固定插孔分别设置在承载台上端靠近四角处内部，四个所述固定插孔的圆周内部均套接有固定插杆，所述承载台左右两侧各两个固定插杆上均连接有连接条，两个所述连接条分别设置在检测台的左右两侧，两个所述连接条的对向内壁上均连接有稳定弹簧，所述稳定弹簧的另外一端均连接有稳定弹片，两个所述稳定弹片的对向内壁上均连接有软硅胶保护垫，所述软硅胶保护垫和稳定弹片通过粘接剂固定连接。