[实用新型]掩膜板检查设备

权利要求书

1.掩膜板检查设备，包括工作台（3）和位移机构（5），其特征在于：所述位移机构（5）安装在工作台（3）的上端，所述位移机构（5）和工作台（3）通过螺母固定连接，所述工作台（3）最后侧上端两角处均设置有支柱（7），两个所述支柱（7）和检测台（1）通过焊接固定连接，两个所述支柱（7）的上端连接有连接横板（8），所述位移机构（5）上端靠左侧设置有聚光辅助装置（6），所述位移机构（5）的上端连接有工作基座（4），所述聚光辅助装置（6）设置在工作基座（4）的左侧，所述工作基座（4）的上端连接有承载台（9），所述承载台（9）的上端连接有横向平放的检测台（1），所述检测台（1）上端外壁左右两侧均连接有稳定保护装置（2），所述检测台（1）的正上方设置有照明摄像检测模组（11），所述照明摄像检测模组（11）的后端连接有升降机构（10），所述升降机构（10）的后端连接在连接横板（8）的前端外壁上。

2.根据权利要求1所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述聚光辅助装置（6）上设置有滑杆（12），所述滑杆（12）的最下端连接在位移机构（5）上，所述滑杆（12）的最上端连接有横向的连接横杆（13），所述连接横杆（13）的前端周长外部套接有平移滑套（14），所述平移滑套（14）的前端连接有探照杆（15），所述平移滑套（14）和探照杆（15）通过焊接固定连接，所述探照杆（15）的最前端连接有聚光灯珠（16）。

3.根据权利要求1所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述稳定保护装置（2）上设置有四个固定插孔（19），四个所述固定插孔（19）分别设置在承载台（9）上端靠近四角处内部，四个所述固定插孔（19）的圆周内部均套接有固定插杆（17），所述承载台（9）左右两侧各两个固定插杆（17）上均连接有连接条（20），两个所述连接条（20）分别设置在检测台（1）的左右两侧，两个所述连接条（20）的对向内壁上均连接有稳定弹簧（21），所述稳定弹簧（21）的另外一端均连接有稳定弹片（22），两个所述稳定弹片（22）的对向内壁上均连接有软硅胶保护垫（18），所述软硅胶保护垫（18）和稳定弹片（22）通过粘接剂固定连接。

4.根据权利要求3所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述稳定保护装置（2）上的连接条（20）、稳定弹片（22）和软硅胶保护垫（18）的截面形状和面积相同，所述连接条（20）、稳定弹片（22）和软硅胶保护垫（18）的长度均与检测台（1）的宽度相等，所述连接条（20）、稳定弹片（22）和软硅胶保护垫（18）的高度均高出检测台（1）的高度。

5.根据权利要求2所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述聚光辅助装置（6）的高度略高于检测台（1）到工作台（3）之间的距离，所述聚光辅助装置（6）的运动轨迹与工作基座（4）的运动轨迹保持一致。

6.根据权利要求1所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述支柱（7）共设置有两个，两个所述支柱（7）均通过焊接与工作台（3）固定连接，两个所述支柱（7）的形状大小和结构组成均相同，两个所述支柱（7）相互之间保持相对平行状态。