[实用新型]一种新型离子束抛光机工件装夹机构

摘要

本实用新型属于离子束抛光机领域，公开了一种新型离子束抛光机工件装夹机构，用于解决现有装夹工装存在着安装效率低以及利用率低的问题。本实用新型包括工件固定座，所述工件固定座上设置有至少一个用于装夹光学元件的装夹单元，每一个所述装夹单元包括开设在工件固定座上的基圆，工件固定座上设置有第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，所述第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽均配设有装夹模块，所述工件固定座上设置有延伸出工件固定座的定位模块，所述定位模块的定位面与基圆相切并垂直于第一滑槽长度方向的中心线。本实用新型不仅能够提高安装效率，同时具有安装形式多样化，可以立式安装，也可以卧式安装，不受机台限制。