[实用新型]一种新型离子束抛光机工件装夹机构

说明书

本实用新型属于离子束抛光机领域，公开了一种新型离子束抛光机工件装夹机构，用于解决现有装夹工装存在着安装效率低以及利用率低的问题。本实用新型包括工件固定座，所述工件固定座上设置有至少一个用于装夹光学元件的装夹单元，每一个所述装夹单元包括开设在工件固定座上的基圆，工件固定座上设置有第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，所述第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽均配设有装夹模块，所述工件固定座上设置有延伸出工件固定座的定位模块，所述定位模块的定位面与基圆相切并垂直于第一滑槽长度方向的中心线。本实用新型不仅能够提高安装效率，同时具有安装形式多样化，可以立式安装，也可以卧式安装，不受机台限制。

技术领域

本实用新型属于离子束抛光机技术领域，具体涉及一种新型离子束抛光机工件装夹机构。

背景技术

离子束抛光是近年才出现的一种高精密光学零件加工的技术，它的加工原理是把离子束聚焦到工件要加工的表面上，通过离子轰出表面原子，从而去除材料。过去工件的装夹一般采用吊装和竖直固定方式。由于离子束加工是在真空室中进行，所以无论哪种方式，都要把光学元件精确定位到要固定的位置，而且要保证它的安全性、可靠性，固定都是比较困难的，尤其是对大尺寸的光学元件，比如直径500mm以上，甚至1m以上，重量可到达几十、几百千克以上的光学元件，安全可靠、高精度的固定就变得非常困难。

现有技术中申请号为201210266676.6的实用新型专利公开了一种大型光学零件离子束抛光机，包括真空抛光系统、承载装置、用于运输完成测量后的大口径工件、并在运输过程中使大口径工件的待加工面保持向下的翻转装置以及用于承接翻转装置所输送的大口径工件、并将大口径工件送至真空抛光系统的主真空室内的输送装置，所述承载装置包括导轨以及设于主真空室内、并用于承接输送装置所输送的大口径工件的内机架，所述输送装置设于导轨上，并沿所述导轨运动；所述翻转装置包括翻转机架、支承滚轮和夹紧盘，所述支承滚轮装设于所述翻转机架底部，所述夹紧盘可转动的装设于所述翻转机架上，所述夹紧盘上设有多个用于夹持光学零件夹具的夹紧块；所述输送装置包括输送车架和车轮，所述车轮装设于所述输送车架的底部，并沿所述导轨设置，所述输送车架上设有可作竖直升降的升降平台；所述输送装置还包括行进驱动电机、电机座、减速器、驱动齿轮以及沿所述导轨设置的齿条，所述行进驱动电机通过电机座固定于所述输送车架上，所述行进驱动电机的输出端经减速器与驱动齿轮连接，所述驱动齿轮与所述齿条啮合；所述输送装置还包括升降电动推杆、升降导轨和升降滑块，所述升降滑块固定于所述升降平台上，所述升降导轨和升降电动推杆装设于输送车架上，所述升降滑块滑设于升降导轨中，所述升降电动推杆的输出端与升降平台连接；所述承载装置还包括外机架，所述导轨均由内导轨、外导轨和对接导轨组成，所述内导轨设于主真空室内，并固定于内机架上，所述外导轨固定于外机架上，所述对接导轨一端与外导轨铰接，另一端与内导轨搭接。

然而如同现有技术中的大型离子束抛光机在使用过程中存在着以下问题：

1、光学元件在输送至真空室内，首先需要将光学元件装夹在翻转装置上，然后通过翻转装置进行翻转，翻转之后再通过承载装置输送至真空室内。首先本身这个过程就比较繁琐，需要耗费大量的时间和能源；另外一方面随着行程的增加，为了保证光学元件夹持的精度，对于生产和安装要求高度极高。

2、翻转装置采用沿径向方向设置的夹紧块对光学元件进行夹持，在使用过程中，每次装夹都需要进行测量定位，导致安装效率低；同时这种夹持结构每次装夹都只能装夹一个光学元件，当加工大型光学元件的时候比较适用，但是当装夹非大型光学元件的时候会造成极大的浪费，导致设备利用率低。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有装夹工装存在着安装效率低以及利用率低的问题，而提供一种新型离子束抛光机工件装夹机构，能够提高光学元件的装夹效率，同时在使用过程中可以根据光学元件的尺寸大小来判定光学元件的装夹数量，提高设备利用率。

为解决技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：