[实用新型]一种新型离子束抛光机工件装夹机构

权利要求书

1.一种新型离子束抛光机工件装夹机构，其特征在于，包括工件固定座，所述工件固定座上设置有至少一个用于装夹光学元件的装夹单元，每一个所述装夹单元包括开设在工件固定座上的基圆，工件固定座上设置有第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，所述第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽均配设有装夹模块，第一滑槽沿着基圆的径向方向设置，所述第二滑槽沿第二滑槽长度方向的中心线为基圆的渐开线的一部分，所述第三滑槽沿第一滑槽长度方向的中心线与第二滑槽对称设置；所述工件固定座上设置有延伸出工件固定座的定位模块，所述定位模块的定位面与基圆相切并垂直于第一滑槽长度方向的中心线。

2.根据权利要求1所述的新型离子束抛光机工件装夹机构，其特征在于，所述工件固定座上设置有至少两个用于装夹光学元件的装夹单元。

3.根据权利要求1所述的新型离子束抛光机工件装夹机构，其特征在于，各个装夹单元的基圆的半径相同或者不同。

4.根据权利要求1所述的新型离子束抛光机工件装夹机构，其特征在于，各个装夹单元的第一滑槽开设在工件固定座上的方向相同或者不同。

5.根据权利要求1所述的新型离子束抛光机工件装夹机构，其特征在于，各个装夹单元中至少有一装夹单元的基圆的半径大于其余装夹单元中任一一个装夹单元的基圆的半径。

6.根据权利要求1所述的新型离子束抛光机工件装夹机构，其特征在于，所述定位模块固定连接或者可拆卸连接在工件固定座上。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的新型离子束抛光机工件装夹机构，其特征在于，所述装夹模块包括与第一滑槽、第二滑槽和/或第三滑槽相互适配的滑块，所述滑块上设置有立柱，所述立柱的外围套设有能够在立柱上滑动并用于支撑光学元件的滑套，所述立柱远离工件固定座的端面上设置有能延伸出立柱并与滑套一起夹持光学元件的夹持块，所述滑套与立柱之间设置有用于将滑套朝向夹持块的方向对光学元件施加预紧力的弹簧。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的新型离子束抛光机工件装夹机构，其特征在于，所述定位模块包括用于与工件固定座连接的固定板，所述固定板配设有定位面，所述固定板还设置有能沿垂直于工件固定座的方向滑动并用于夹持工学元件的夹持端。

9.一种离子束抛光机，包括真空舱体，所述真空舱体配设有舱门，其特征在于，所述舱门与真空舱体相互铰接，所述舱门上安装有工件装夹机构，所述工件装夹机构包括工件固定座，所述工件固定座上设置有至少一个用于装夹光学元件的装夹单元，每一个所述装夹单元包括开设在工件固定座上的基圆，工件固定座上设置有第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，所述第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽均配设有装夹模块，第一滑槽沿着基圆的径向方向设置，所述第二滑槽沿第二滑槽长度方向的中心线为基圆的渐开线的一部分，所述第三滑槽沿第一滑槽长度方向的中心线与第二滑槽对称设置；所述工件固定座上设置有延伸出工件固定座的定位模块，所述定位模块的定位面与基圆相切并垂直于第一滑槽长度方向的中心线。

10.根据权利要求9所述的离子束抛光机，其特征在于，所述舱门经转动销轴与真空舱体，所述真空舱体配设有用于带动舱门与真空舱体进行开闭的液压缸。