[实用新型]一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备有效
| 申请号: | 201920824076.4 | 申请日: | 2019-06-03 |
| 公开(公告)号: | CN209993612U | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
| 发明(设计)人: | 谢建 | 申请(专利权)人: | 创富东日(深圳)科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/68 |
| 代理公司: | 44375 深圳市韦恩肯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄昌平;江洁 |
| 地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,包括1块订制载板、3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、1个X移动轴、1个Z移动轴、6套纠偏执行机构、2个订制载板阻挡装置,所述凸轮定位卡爪包括卡爪步进电机、卡爪、凸轮、凸轮轴承、卡爪线性导轨;所述纠偏执行机构包括X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴、Z升降轴以及自制吸盘。通过CCD相机拍摄定制载板和晶体硅片的位置、姿态,然后分析两者的位置、姿态的偏差数值,并将所述偏差数值反馈给纠偏执行机构,纠偏执行机构可同时对6片晶体硅片的X方向、Y方向以及角度的精确调整,实现晶体硅片的精确定位、降低破片率、提高产能。 | ||
| 搜索关键词: | 纠偏执行机构 晶体硅片 纠偏轴 卡爪 载板 定位卡爪 订制 移动轴 太阳能晶体硅片 吸盘 本实用新型 步进电机 定位设备 数值反馈 凸轮轴承 线性导轨 阻挡装置 破片率 升降轴 纠偏 产能 自制 拍摄 分析 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:包括1块订制载板、3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、1个X移动轴、1个Z移动轴、6套纠偏执行机构、2个订制载板阻挡装置,所述凸轮定位卡爪包括卡爪步进电机、卡爪、凸轮、凸轮轴承、卡爪线性导轨;所述纠偏执行机构包括X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴、Z升降轴以及自制吸盘;/n所述订制载板上设置有方形通孔,所述通孔的尺寸小于晶体硅片的尺寸并大于所述自制吸盘的外径;所述3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、X移动轴、Z移动轴安装在所述订制载板的上方;所述6套纠偏执行机构并排安装在所述订制载板的下方;所述2个订制载板阻挡装置对称安装在所述订制载板的前进方向的左右两端;所述3套凸轮定位卡爪并排安装在所述订制载板的上方,并与所述6套纠偏执行机构平行;所述3套CCD相机安装在所述凸轮定位卡爪的上方,用于拍摄所述订制载板和晶体硅片的位置,并将拍摄结果反馈给纠偏执行机构;所述X移动轴、Z移动轴控制所述凸轮定位卡爪往X方向、Z方向移动;所述自制吸盘安装在所述纠偏执行机构的顶端,所述X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴分别对晶体硅片的X方向、Y方向以及角度进行调整;所述Z升降轴用于控制自制吸盘的升降。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





