[实用新型]一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备有效

专利信息
申请号: 201920824076.4 申请日: 2019-06-03
公开(公告)号: CN209993612U 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 谢建 申请(专利权)人: 创富东日(深圳)科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/68
代理公司: 44375 深圳市韦恩肯知识产权代理有限公司 代理人: 黄昌平;江洁
地址: 518104 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型涉及一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,包括1块订制载板、3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、1个X移动轴、1个Z移动轴、6套纠偏执行机构、2个订制载板阻挡装置,所述凸轮定位卡爪包括卡爪步进电机、卡爪、凸轮、凸轮轴承、卡爪线性导轨;所述纠偏执行机构包括X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴、Z升降轴以及自制吸盘。通过CCD相机拍摄定制载板和晶体硅片的位置、姿态,然后分析两者的位置、姿态的偏差数值,并将所述偏差数值反馈给纠偏执行机构,纠偏执行机构可同时对6片晶体硅片的X方向、Y方向以及角度的精确调整,实现晶体硅片的精确定位、降低破片率、提高产能。
搜索关键词: 纠偏执行机构 晶体硅片 纠偏轴 卡爪 载板 定位卡爪 订制 移动轴 太阳能晶体硅片 吸盘 本实用新型 步进电机 定位设备 数值反馈 凸轮轴承 线性导轨 阻挡装置 破片率 升降轴 纠偏 产能 自制 拍摄 分析
【主权项】:
1.一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:包括1块订制载板、3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、1个X移动轴、1个Z移动轴、6套纠偏执行机构、2个订制载板阻挡装置,所述凸轮定位卡爪包括卡爪步进电机、卡爪、凸轮、凸轮轴承、卡爪线性导轨;所述纠偏执行机构包括X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴、Z升降轴以及自制吸盘;/n所述订制载板上设置有方形通孔,所述通孔的尺寸小于晶体硅片的尺寸并大于所述自制吸盘的外径;所述3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、X移动轴、Z移动轴安装在所述订制载板的上方;所述6套纠偏执行机构并排安装在所述订制载板的下方;所述2个订制载板阻挡装置对称安装在所述订制载板的前进方向的左右两端;所述3套凸轮定位卡爪并排安装在所述订制载板的上方,并与所述6套纠偏执行机构平行;所述3套CCD相机安装在所述凸轮定位卡爪的上方,用于拍摄所述订制载板和晶体硅片的位置,并将拍摄结果反馈给纠偏执行机构;所述X移动轴、Z移动轴控制所述凸轮定位卡爪往X方向、Z方向移动;所述自制吸盘安装在所述纠偏执行机构的顶端,所述X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴分别对晶体硅片的X方向、Y方向以及角度进行调整;所述Z升降轴用于控制自制吸盘的升降。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于创富东日(深圳)科技有限公司,未经创富东日(深圳)科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920824076.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top