[实用新型]一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备有效

专利信息
申请号: 201920824076.4 申请日: 2019-06-03
公开(公告)号: CN209993612U 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 谢建 申请(专利权)人: 创富东日(深圳)科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/68
代理公司: 44375 深圳市韦恩肯知识产权代理有限公司 代理人: 黄昌平;江洁
地址: 518104 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 纠偏执行机构 晶体硅片 纠偏轴 卡爪 载板 定位卡爪 订制 移动轴 太阳能晶体硅片 吸盘 本实用新型 步进电机 定位设备 数值反馈 凸轮轴承 线性导轨 阻挡装置 破片率 升降轴 纠偏 产能 自制 拍摄 分析
【权利要求书】:

1.一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:包括1块订制载板、3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、1个X移动轴、1个Z移动轴、6套纠偏执行机构、2个订制载板阻挡装置,所述凸轮定位卡爪包括卡爪步进电机、卡爪、凸轮、凸轮轴承、卡爪线性导轨;所述纠偏执行机构包括X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴、Z升降轴以及自制吸盘;

所述订制载板上设置有方形通孔,所述通孔的尺寸小于晶体硅片的尺寸并大于所述自制吸盘的外径;所述3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、X移动轴、Z移动轴安装在所述订制载板的上方;所述6套纠偏执行机构并排安装在所述订制载板的下方;所述2个订制载板阻挡装置对称安装在所述订制载板的前进方向的左右两端;所述3套凸轮定位卡爪并排安装在所述订制载板的上方,并与所述6套纠偏执行机构平行;所述3套CCD相机安装在所述凸轮定位卡爪的上方,用于拍摄所述订制载板和晶体硅片的位置,并将拍摄结果反馈给纠偏执行机构;所述X移动轴、Z移动轴控制所述凸轮定位卡爪往X方向、Z方向移动;所述自制吸盘安装在所述纠偏执行机构的顶端,所述X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴分别对晶体硅片的X方向、Y方向以及角度进行调整;所述Z升降轴用于控制自制吸盘的升降。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:所述卡爪步进电机通过旋转凸轮改变凸轮轴承与凸轮的距离,从而改变左右两个卡爪在所述卡爪线性导轨内左右移动,实现所述卡爪的张开和闭合,每套凸轮定位卡爪包含8个卡爪,所述8个卡爪由同一个卡爪步进电机带动凸轮旋转进行张开和闭合,保证8个卡爪的同步对中。

3.根据权利要求2所述的一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:所述8个卡爪分为前后两组,前4个卡爪分为一组,后4个卡爪分为另一组,每组卡爪分别抓取一片晶体硅片。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:所述X纠偏轴与Y纠偏轴垂直安装,所述X纠偏轴与Y纠偏轴均设置有滑板、交叉滚珠导轨、第一丝杆步进电机;所述第一丝杆步进电机用于控制所述滑板在所述交叉滚珠导轨往X方向或者Y方向移动。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:所述θ纠偏轴包括转盘、深沟球轴承、大同步轮、小同步轮、纠偏步进电机,所述转盘为圆环形结构,安装在所述Z升降轴的下方,并垂直于Z升降轴;所述深沟球轴承安装在圆环形结构的中间;所述纠偏步进电机连接在小同步轮上,通过小同步轮传动到大同步轮,大同步轮带动转盘转动。

6.根据权利要求1所述的一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:所述Z升降轴包括升降滑板、升降线性导轨、第二丝杆步进电机,所述第二丝杆步进电机控制所述升降滑板在升降线性导轨内上下移动。

7.根据权利要求1所述的一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:所述2个订制载板阻挡装置用于阻挡所述订制载板,确保订制载板初始位置准确,后续每完成一排晶体硅片的纠偏,所述2个订制载板阻挡装置就同时向前移动一排晶体硅片的距离。

8.根据权利要求1所述的一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,其特征在于:所述一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备可一次性同时对6片晶体硅片进行精准纠偏定位。

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