[实用新型]一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备有效
| 申请号: | 201920824076.4 | 申请日: | 2019-06-03 |
| 公开(公告)号: | CN209993612U | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
| 发明(设计)人: | 谢建 | 申请(专利权)人: | 创富东日(深圳)科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/68 |
| 代理公司: | 44375 深圳市韦恩肯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄昌平;江洁 |
| 地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 纠偏执行机构 晶体硅片 纠偏轴 卡爪 载板 定位卡爪 订制 移动轴 太阳能晶体硅片 吸盘 本实用新型 步进电机 定位设备 数值反馈 凸轮轴承 线性导轨 阻挡装置 破片率 升降轴 纠偏 产能 自制 拍摄 分析 | ||
本实用新型涉及一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,包括1块订制载板、3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、1个X移动轴、1个Z移动轴、6套纠偏执行机构、2个订制载板阻挡装置,所述凸轮定位卡爪包括卡爪步进电机、卡爪、凸轮、凸轮轴承、卡爪线性导轨;所述纠偏执行机构包括X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴、Z升降轴以及自制吸盘。通过CCD相机拍摄定制载板和晶体硅片的位置、姿态,然后分析两者的位置、姿态的偏差数值,并将所述偏差数值反馈给纠偏执行机构,纠偏执行机构可同时对6片晶体硅片的X方向、Y方向以及角度的精确调整,实现晶体硅片的精确定位、降低破片率、提高产能。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片的精密纠偏定位领域,具体为一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备。
背景技术
在生产太阳能电池芯片的工艺流程中,为了提高太阳能电池芯片的转换效率,需要对晶体硅片进行镀膜,晶体硅片镀膜之前,首先要将晶体硅片排列到载具里,由于载具边缘与晶体硅片的空隙较小,所以需要对晶体硅片的位置进行精准纠偏之后,才可以将晶体硅片准确放置到载具内。但是由于晶体硅片本身单薄易碎的特点,传统的纠偏定位机构在纠偏取片和定位的过程中,很容易导致晶体硅片碎裂,而且不能精准地定位,影响后续的镀膜效果,导致生产出来的电池片达不到使用要求,甚至无法使用,对生产造成很大的损失。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,以解决现有技术存在的晶体硅片在纠偏定位过程中的定位不准确和容易破片的问题,提高晶体硅片的产能、降低损失。
为了解决上述问题,本实用新型提供的技术方案是:一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,包括1块订制载板、3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、 1个X移动轴、1个Z移动轴、6套纠偏执行机构、2个订制载板阻挡装置,所述凸轮定位卡爪包括卡爪步进电机、卡爪、凸轮、凸轮轴承、卡爪线性导轨;所述纠偏执行机构包括X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴、Z升降轴以及自制吸盘;
所述订制载板上设置有方形通孔,所述通孔的尺寸小于晶体硅片的尺寸并大于所述自制吸盘的外径;所述3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、X移动轴、Z移动轴安装在所述订制载板的上方;所述6套纠偏执行机构并排安装在所述订制载板的下方;所述2个订制载板阻挡装置对称安装在所述订制载板的前进方向的左右两端;所述3套凸轮定位卡爪并排安装在所述订制载板的上方,并与所述6套纠偏执行机构平行;所述3套CCD相机安装在所述凸轮定位卡爪的上方,用于拍摄所述订制载板和晶体硅片的位置,并将拍摄结果反馈给纠偏执行机构;所述X移动轴、Z移动轴控制所述凸轮定位卡爪往X方向、Z方向移动;所述自制吸盘安装在所述纠偏执行机构的顶端,所述X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴分别对晶体硅片的X方向、Y方向以及角度进行调整;所述Z升降轴用于控制自制吸盘的升降。
进一步地,所述卡爪步进电机通过旋转凸轮改变凸轮轴承与凸轮的距离,从而改变左右两个卡爪在所述卡爪线性导轨内左右移动,实现所述卡爪的张开和闭合,每套凸轮定位卡爪包含8个卡爪,所述8个卡爪由同一个卡爪步进电机带动凸轮旋转进行张开和闭合,保证8个卡爪的同步对中。
进一步地,所述8个卡爪分为前后两组,前4个卡爪分为一组,后4个卡爪分为另一组,每组卡爪分别抓取一片晶体硅片。
进一步地,所述X纠偏轴与Y纠偏轴垂直安装,所述X纠偏轴与Y纠偏轴均设置有滑板、交叉滚珠导轨、第一丝杆步进电机;所述第一丝杆步进电机用于控制所述滑板在所述交叉滚珠导轨往X方向或者Y方向移动。
进一步地,所述θ纠偏轴包括转盘、深沟球轴承、大同步轮、小同步轮、纠偏步进电机,所述转盘为圆环形结构,安装在所述Z升降轴的下方,并垂直于Z升降轴;所述深沟球轴承安装在圆环形结构的中间;所述纠偏步进电机连接在小同步轮上,通过小同步轮传动到大同步轮,大同步轮带动转盘转动。
进一步地,所述Z升降轴包括升降滑板、升降线性导轨、第二丝杆步进电机,所述第二丝杆步进电机控制所述升降滑板在升降线性导轨内上下移动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





