[实用新型]一种气体传感器及传感器阵列有效

专利信息
申请号: 201920815544.1 申请日: 2019-05-31
公开(公告)号: CN210136193U 公开(公告)日: 2020-03-10
发明(设计)人: 许磊;彭书峰;陈栋梁;荣钱;周睿颖 申请(专利权)人: 合肥微纳传感技术有限公司
主分类号: G01N27/04 分类号: G01N27/04
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 解婷婷;栗若木
地址: 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型实施例公开了一种气体传感器及传感器阵列,能够减少引线损伤。所述气体传感器包括:第一衬底,设置在所述第一衬底上的气体检测组件、所述气体传感器的多个第一引脚,以及用于保护所述气体检测组件的封装盖帽,其中:所述气体检测组件直接或间接通过电极引线与所述第一引脚电连接,所述气体检测组件、所述电极引线和所述第一引脚设置在所述第一衬底的同一面;所述封装盖帽键合在所述第一衬底上,所述第一引脚裸露在所述封装盖帽之外。采用本实用新型实施例可以减少电极引线的弯折,使制成的传感器信号稳定、噪声小,同时简化加工工艺,降低制造周期和成本。
搜索关键词: 一种 气体 传感器 阵列
【主权项】:
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