[实用新型]一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头有效

专利信息
申请号: 201920803681.3 申请日: 2019-05-30
公开(公告)号: CN210420253U 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 刘刚 申请(专利权)人: 成都晶九科技有限公司
主分类号: C30B15/30 分类号: C30B15/30
代理公司: 成都厚为专利代理事务所(普通合伙) 51255 代理人: 夏柯双
地址: 611731 四川省成都*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头,密封装置(3),所述的密封装置包括第一密封盖(301)、第二密封盖(302)以及第三密封盖(303),第一密封盖(301)、第二密封盖(302)、第三密封盖(303)以及上立柱(1)形成一个将滚珠丝杠(103)和导轨(102)包围的封闭空间。本实用新型采用步进电机直接驱动精密滚珠丝杠,同时配合多导轨的限制,进一步提高了提拉动作的稳定性,在整个提拉的过程中密封盖可阻挡运行过程中灰尘的进入,解决了提拉过程中运动部件的防尘密封问题,制得的晶体质量得到了明显的改善。
搜索关键词: 一种 运行 稳定 密封 性能 良好 晶体生长 炉提拉头
【主权项】:
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