[实用新型]一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头有效
申请号: | 201920803681.3 | 申请日: | 2019-05-30 |
公开(公告)号: | CN210420253U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 刘刚 | 申请(专利权)人: | 成都晶九科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 成都厚为专利代理事务所(普通合伙) 51255 | 代理人: | 夏柯双 |
地址: | 611731 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头,密封装置(3),所述的密封装置包括第一密封盖(301)、第二密封盖(302)以及第三密封盖(303),第一密封盖(301)、第二密封盖(302)、第三密封盖(303)以及上立柱(1)形成一个将滚珠丝杠(103)和导轨(102)包围的封闭空间。本实用新型采用步进电机直接驱动精密滚珠丝杠,同时配合多导轨的限制,进一步提高了提拉动作的稳定性,在整个提拉的过程中密封盖可阻挡运行过程中灰尘的进入,解决了提拉过程中运动部件的防尘密封问题,制得的晶体质量得到了明显的改善。 | ||
搜索关键词: | 一种 运行 稳定 密封 性能 良好 晶体生长 炉提拉头 | ||
【主权项】:
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