[实用新型]一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头

权利要求书

1.一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，包括上立柱（1）和滑座（2），其特征在于，所述的上立柱（1）的顶部设置有安装板（101），上立柱（1）的底部设置有连接板（104），上立柱（1）上设置有滚珠丝杠（103）以及分布在滚珠丝杠（103）两侧的导轨（102），安装板（101）上安装有驱动滚珠丝杠（103）的步进电机（105），所述的导轨（102）以及滚珠丝杠（103）的布置方向与提拉头的提拉方向一致，滑座（2）安装在滚珠丝杠（103）上并在步进电机（105）的驱动下在滚珠丝杠（103）和导轨（102）上作往复的提拉运动；

所述的滑座（2）上面向上立柱（1）的一侧设置有第一安装槽（201）和第二安装槽（202），滑座（2）中还设置有贯穿的第三安装槽（203）；

所述的提拉头还包括密封装置（3），所述的密封装置包括第一密封盖（301）、第二密封盖（302）以及第三密封盖（303），第一密封盖（301）安装在第一安装槽（201）中，第二密封盖（302）安装在第二安装槽（202）中，第三密封盖（303）安装在第三安装槽（203）中，其中，第一密封盖（301）、第二密封盖（302）、第三密封盖（303）以及上立柱（1）形成一个将滚珠丝杠（103）和导轨（102）包围的封闭空间。

2.根据权利要求1所述的一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，其特征在于：所述的导轨（102）的数量不低于两条。

3.根据权利要求1所述的一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，其特征在于：所述的第三安装槽（203）的方向与提拉头的提拉方向一致。

4.根据权利要求1所述的一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，其特征在于：所述的步进电机（105）和滚珠丝杠（103）之间设置有用于调速的变速齿轮箱（106）。

5.根据权利要求1所述的一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，其特征在于：所述的滑座（2）上设置有与导轨（102）配合的滑槽（204）。

6.根据权利要求1所述的一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，其特征在于：所述的第一密封盖（301）和第二密封盖（302）分别位于最边缘处导轨（102）的外侧。

7.根据权利要求1或6所述的一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，其特征在于：所述的第一密封盖（301）、第二密封盖（302）以及第三密封盖（303）的上端均与安装板（101）连接，第一密封盖（301）、第二密封盖（302）以及第三密封盖（303）的下端均与连接板（104）连接，第一密封盖（301）、第二密封盖（302）与上立柱（1）之间紧密接触。

8.根据权利要求7所述的一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，其特征在于：所述的第一密封盖（301）和第二密封盖（302）平行布置在滚珠丝杠（103）两侧。

9.根据权利要求1所述的一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，其特征在于：所述的第一密封盖（301）、第二密封盖（302）以及第三密封盖（303）的长度不低于滑座（2）的提拉行程长度。

10.根据权利要求1所述的一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，其特征在于：所述的第三安装槽（203）两端设置有朝所述封闭空间延伸的边槽（205），第三密封盖（303）两端设置有与边槽（205）对应的边沿盖（304），边沿盖（304）卡接在边槽（205）中。