[实用新型]一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置有效
| 申请号： | 201920799169.6 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN210134160U | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 余龙;马淑莹 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及连续溅射镀膜设备技术领域，尤其涉及一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置，包括冷阱盘管，冷阱盘管布置在冷阱室内且与深冷泵连接，冷阱室通过冷阱室高真空阀门与工艺室连通，深冷泵依据冷阱室高真空阀门的启闭切换冷阱盘管除霜或制冷，冷阱室与冷阱室真空泵相连。本实用新型的优点是：避免除霜过程中产生的水汽等污染工艺室中的靶材；除霜过程和工艺室中的搬送过程相互独立；缩短工艺室到达本底真空所需的时间；减少工艺室中水气的分压，提高光学薄膜质量；深冷泵、冷阱盘管除霜不影响工艺室真空，能连续抽除工艺室中的水气；工艺室到达本底真空的时间减少50%到75%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 溅射 镀膜 设备 水气 装置 | ||
【主权项】：
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