[实用新型]一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置

权利要求书

1.一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置，其特征在于：所述抽除水气装置包括冷阱盘管，所述冷阱盘管布置在冷阱室内且与深冷泵连接，所述冷阱室通过冷阱室高真空阀门与工艺室连通，所述深冷泵依据所述冷阱室高真空阀门的启闭切换所述冷阱盘管除霜或制冷，所述冷阱室与冷阱室真空泵相连。

2.根据权利要求1所述的一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置，其特征在于：所述冷阱室通过冷阱室真空阀门与所述冷阱室真空泵相连。

3.根据权利要求2所述的一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置，其特征在于：所述冷阱室真空阀门包括冷阱室低真空阀门及冷阱室高真空辅助阀门，所述冷阱室真空泵包括冷阱室低真空泵组及冷阱室高真空泵，所述冷阱室低真空阀门与所述冷阱室低真空泵组连接，所述冷阱室高真空辅助阀门与所述冷阱室高真空泵连接。

4.根据权利要求1所述的一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置，其特征在于：所述工艺室通过工艺室真空阀门与工艺室真空泵相连。

5.根据权利要求4所述的一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置，其特征在于：所述工艺室真空泵包括工艺室低真空泵组及工艺室高真空泵，所述工艺室真空阀门包括工艺室低真空阀门及工艺室高真空辅助阀门，所述工艺室低真空阀门与所述工艺室低真空泵组连接，所述工艺室高真空辅助阀门与所述工艺室高真空泵连接。

6.根据权利要求1所述的一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置，其特征在于：所述工艺室通过工艺室高真空阀门与搬送室相通。

7.根据权利要求6所述的一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置，其特征在于：所述搬送室通过搬送室低真空阀门与搬送室低真空泵组相连。