[实用新型]一种芯片生产用清洗设备有效
| 申请号： | 201920796640.6 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN210207808U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 张益铭 | 申请（专利权）人： | 上海芯强微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200040 上海市静*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片生产用清洗设备，包括基座，所述基座底部外壁的两侧均焊接有支架，且基座的顶端焊接有封闭框，所述封闭框的两侧均开有通口，且封闭框的顶端外壁设置有供水机构，所述基座顶端的一边焊接有烘干箱，且烘干箱内设置有烘干组件，所述封闭框的顶端内壁设置有喷淋清洗机构。本实用新型机械化喷水清洗，能够通过水泵抽液的方式在芯片上进行喷淋清洗液，快速全面清洁，提高了芯片的清洗效率，能够通过烘干风机吹风烘干的方式，加速芯片干燥，能够有效节省芯片干燥时间，提高了芯片加工的生产效率，且设置斜板能够通过斜板将芯片滑出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 生产 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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