[实用新型]一种芯片生产用清洗设备有效

专利信息
申请号: 201920796640.6 申请日: 2019-05-30
公开(公告)号: CN210207808U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 张益铭 申请(专利权)人: 上海芯强微电子股份有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;F26B21/00;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200040 上海市静*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 生产 清洗 设备
【权利要求书】:

1.一种芯片生产用清洗设备,包括基座(1),其特征在于,所述基座(1)底部外壁的两侧均焊接有支架(2),且基座(1)的顶端焊接有封闭框(5),所述封闭框(5)的两侧均开有通口(8),且封闭框(5)的顶端外壁设置有供水机构,所述基座(1)顶端的一边焊接有烘干箱(4),且烘干箱(4)内设置有烘干组件,所述封闭框(5)的顶端内壁设置有喷淋清洗机构。

2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用清洗设备,其特征在于,所述供水机构包括供水箱(6),且供水箱(6)的内壁焊接有隔板(11),隔板(11)侧壁通过螺钉固定有水泵(12)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片生产用清洗设备,其特征在于,所述喷淋清洗机构包括固定于封闭框(5)顶端内壁的喷淋盘(9),且喷淋盘(9)的底端通过螺纹连接有喷头(10),水泵(12)的输出端通过导管与喷淋盘(9)相连通。

4.根据权利要求3所述的一种芯片生产用清洗设备,其特征在于,所述烘干箱(4)的侧壁开有排料口(3)。

5.根据权利要求4所述的一种芯片生产用清洗设备,其特征在于,所述基座(1)为池状结构,且基座(1)的顶端内壁通过螺钉固定有过滤网(7)。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种芯片生产用清洗设备,其特征在于,所述烘干组件包括固定于烘干箱(4)顶端内壁的固定架(13)。

7.根据权利要求6所述的一种芯片生产用清洗设备,其特征在于,所述固定架(13)的顶端内壁通过螺钉固定有烘干风机(17),且固定架(13)的底端通过螺纹连接有若干个风干头(14),烘干风机(17)的输出端通过导风管与风干头(14)相连通。

8.根据权利要求7所述的一种芯片生产用清洗设备,其特征在于,所述固定架(13)为矩形框型结构,同时固定架(13)的底端为中空结构。

9.根据权利要求8所述的一种芯片生产用清洗设备,其特征在于,所述烘干箱(4)的两侧内壁均焊接有斜板(15),且烘干箱(4)的底端开有下料口(16),下料口(16)与排料口(3)相连通。

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