[实用新型]一种芯片生产用清洗设备有效

专利信息
申请号: 201920796640.6 申请日: 2019-05-30
公开(公告)号: CN210207808U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 张益铭 申请(专利权)人: 上海芯强微电子股份有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;F26B21/00;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200040 上海市静*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 生产 清洗 设备
【说明书】:

本实用新型公开了一种芯片生产用清洗设备,包括基座,所述基座底部外壁的两侧均焊接有支架,且基座的顶端焊接有封闭框,所述封闭框的两侧均开有通口,且封闭框的顶端外壁设置有供水机构,所述基座顶端的一边焊接有烘干箱,且烘干箱内设置有烘干组件,所述封闭框的顶端内壁设置有喷淋清洗机构。本实用新型机械化喷水清洗,能够通过水泵抽液的方式在芯片上进行喷淋清洗液,快速全面清洁,提高了芯片的清洗效率,能够通过烘干风机吹风烘干的方式,加速芯片干燥,能够有效节省芯片干燥时间,提高了芯片加工的生产效率,且设置斜板能够通过斜板将芯片滑出。

技术领域

本实用新型涉及芯片生产技术领域,尤其涉及一种芯片生产用清洗设备。

背景技术

电子产品,是指供日常消费者生活使用之电子产品。它属于特定的家用电器,内有电子元件,通常会应用于娱乐、通讯以及文书用途,例如电话、音响器材、电视机、DVD播放机甚至电子钟等。消费电子产品于世界各地均有制造。

经检索,中国专利申请号为201621413581.2的专利,公开了一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备,包括有底板、左架、支撑杆、清洗池、出液管、阀门、网板、轴承座、转轴、绕线轮、旋转电机、搅拌叶片、第一定滑轮等。上述专利中的一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备存在以下不足:该装置结构复杂,清洗效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种芯片生产用清洗设备。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种芯片生产用清洗设备,包括基座,所述基座底部外壁的两侧均焊接有支架,且基座的顶端焊接有封闭框,所述封闭框的两侧均开有通口,且封闭框的顶端外壁设置有供水机构,所述基座顶端的一边焊接有烘干箱,且烘干箱内设置有烘干组件,所述封闭框的顶端内壁设置有喷淋清洗机构。

进一步的,所述供水机构包括供水箱,且供水箱的内壁焊接有隔板,隔板侧壁通过螺钉固定有水泵。

进一步的,所述喷淋清洗机构包括固定于封闭框顶端内壁的喷淋盘,且喷淋盘的底端通过螺纹连接有喷头,水泵的输出端通过导管与喷淋盘相连通。

进一步的,所述烘干箱的侧壁开有排料口。

进一步的,所述基座为池状结构,且基座的顶端内壁通过螺钉固定有过滤网。

进一步的,所述烘干组件包括固定于烘干箱顶端内壁的固定架。

进一步的,所述固定架的顶端内壁通过螺钉固定有烘干风机,且固定架的底端通过螺纹连接有若干个风干头,烘干风机的输出端通过导风管与风干头相连通。

进一步的,所述固定架为矩形框型结构,同时固定架的底端为中空结构。

进一步的,所述烘干箱的两侧内壁均焊接有斜板,且烘干箱的底端开有下料口,下料口与排料口相连通。

本实用新型的有益效果为:

1、通过设置水泵和喷淋盘以及喷头,机械化喷水清洗,能够通过水泵抽液的方式在芯片上进行喷淋清洗液,快速全面清洁,提高了芯片的清洗效率。

2、通过设置过滤网,能够通过过滤的方式,将清洗液回收再利用,节能环保,两个通口的设置可以安装相适应的皮带传送组件,方便芯片的流水线清理,提高了清洁效率。

3、通过设置烘干风机,能够通过烘干风机吹风烘干的方式,加速芯片干燥,能够有效节省芯片干燥时间,提高了芯片加工的生产效率,且设置斜板能够通过斜板将芯片滑出。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种芯片生产用清洗设备的结构示意图;

图2为本实用新型提出的一种芯片生产用清洗设备的结构仰视图;

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