[实用新型]一种金属纳米粉生产用真空泵组

摘要

本实用新型涉及一种金属纳米粉生产用真空泵组，涉及真空技术领域，包括箱体，箱体上铰接设置有箱门，箱体顶部开设有穿管孔一，箱体顶部对应穿管孔一位置设置有抽气管一、抽气管二，箱体内沿水平方向设置有一个隔板，隔板将箱体内部隔成上腔室、下腔室，上腔室内设置有分子泵一、分子泵二，下腔室内并排设置有机械泵一、机械泵二，抽气管一通过管道一连接机械泵一，管道一上设置有预抽控制阀一，抽气管一通过管道二依次连接分子泵一、机械泵一，管道二上设置有控制阀二；抽气管二通过管道三连接机械泵二，管道三上设置有预抽控制阀三，抽气管二通过管道四依次连接分子泵二、机械泵二，管道二上设置有控制阀四，具备工作效率高、结构紧凑的优点。

主权项

1.一种金属纳米粉生产用真空泵组，包括箱体，其特征在于：所述箱体上铰接设置有箱门，所述箱体顶部开设有穿管孔一，所述箱体顶部对应穿管孔一位置设置有抽气管一、抽气管二，所述箱体内沿水平方向设置有一个隔板，所述隔板将箱体内部隔成上腔室、下腔室，所述隔板上端面开设有两个安装槽，所述上腔室内对应安装槽位置设置有分子泵一、分子泵二，所述下腔室内并排设置有机械泵一、机械泵二，所述抽气管一通过管道一连接机械泵一，所述管道一上设置有用于控制管道一内气体流动的预抽控制阀一，所述抽气管一通过管道二依次连接分子泵一、机械泵一，所述管道二上设置有用于控制管道二内气体流动控制阀二；所述抽气管二通过管道三连接机械泵二，所述管道三上设置有用于控制管道三内气体流动的预抽控制阀三，所述抽气管二通过管道四依次连接分子泵二、机械泵二，所述管道二上设置有用于控制管道四内气体流动的控制阀四；所述箱体内还设置有水冷机构，所述水冷机构包括水冷箱、蛇型循环冷却管、循环抽液泵，所述水冷箱设置在箱体外侧壁上，所述水冷箱内设置有冷却液，所述隔板上开设有与蛇型循环冷却管符型的安装槽，所述蛇型循环冷却管嵌装在安装槽内，所述蛇型循环冷却管两端通过水冷管道与水冷箱相连，所述循环抽液泵设置在水冷管道上。/n