[实用新型]一种金属纳米粉生产用真空泵组

说明书

本实用新型涉及一种金属纳米粉生产用真空泵组，涉及真空技术领域，包括箱体，箱体上铰接设置有箱门，箱体顶部开设有穿管孔一，箱体顶部对应穿管孔一位置设置有抽气管一、抽气管二，箱体内沿水平方向设置有一个隔板，隔板将箱体内部隔成上腔室、下腔室，上腔室内设置有分子泵一、分子泵二，下腔室内并排设置有机械泵一、机械泵二，抽气管一通过管道一连接机械泵一，管道一上设置有预抽控制阀一，抽气管一通过管道二依次连接分子泵一、机械泵一，管道二上设置有控制阀二；抽气管二通过管道三连接机械泵二，管道三上设置有预抽控制阀三，抽气管二通过管道四依次连接分子泵二、机械泵二，管道二上设置有控制阀四，具备工作效率高、结构紧凑的优点。

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，尤其涉及一种用于金属纳米粉生产中的真空泵组。

背景技术

新材料是当今科技发展最为活跃的领域之一，新材料的开发研究已经成为科技进步和经济发展的一个重点，受到全世界的广泛关注。纳米金属材料由于颗粒微小，具有其他材料所无法达到的性能，在粉末冶金、精细化工、电子信息等领域有着广阔的前景。目前生产纳米金属粉体的方法主要有化学方法(如电解法和羟基热分解法水浆加压氧还原法等)和物理方法(激光法及等离子体法)，其中等离子体法生产纳米金属粉体是利用高频电源放电产生等离子体弧为热源，使金属汽化蒸发，再经收集器冷却凝聚，从而生成纳米 金属粉体，由于用等离子体法制备的纳米金属粉体产量大、粒度容易控制、粉体性能好等优点，在工业上已经得到广泛应用，在金属纳米粉生产过程中需要保证设备的真空度和稳定性，但是现有的真空设备存在工作效率低、占用空间大的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种金属纳米粉生产用真空泵组，具备工作效率高、结构紧凑的优点。

为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种金属纳米粉生产用真空泵组，包括箱体，所述箱体上铰接设置有箱门，所述箱体顶部开设有穿管孔一，所述箱体顶部对应穿管孔一位置设置有抽气管一、抽气管二，所述箱体内沿水平方向设置有一个隔板，所述隔板将箱体内部隔成上腔室、下腔室，所述隔板上端面开设有两个安装槽，所述上腔室内对应安装槽位置设置有分子泵一、分子泵二，所述下腔室内并排设置有机械泵一、机械泵二，所述抽气管一通过管道一连接机械泵一，所述管道一上设置有用于控制管道一内气体流动的预抽控制阀一，所述抽气管一通过管道二依次连接分子泵一、机械泵一，所述管道二上设置有用于控制管道二内气体流动的控制阀二；所述抽气管二通过管道三连接机械泵二，所述管道三上设置有用于控制管道三内气体流动的预抽控制阀三，所述抽气管二通过管道四依次连接分子泵二、机械泵二，所述管道二上设置有用于控制管道四内气体流动的控制阀四；所述箱体内还设置有水冷机构，所述水冷机构包括水冷箱、蛇型循环冷却管、循环抽液泵，所述水冷箱设置在箱体外侧壁上，所述水冷箱内设置有冷却液，所述隔板上开设有与蛇型循环冷却管符型的安装槽，所述蛇型循环冷却管嵌装在安装槽内，所述蛇型循环冷却管两端通过水冷管道与水冷箱相连，所述循环抽液泵设置在水冷管道上。

为了进一步优化本实用新型，可优先选用以下技术方案：

优选的，所述箱体底部设置有复合式安装板，所述箱体内壁上对应复合式安装板两侧位置设置有与复合式安装板厚度匹配的U型卡槽，所述复合式安装板顶部设置有用于固定机械泵一、机械泵二的固定座。

优选的，所述复合式安装板包括由下至上依次设置的耐磨橡胶层、缓冲泡沫层、固定金属层。

优选的，所述机械泵一、机械泵二均采用直联旋片真空泵。

优选的，所述分子泵一、分子泵二均采用涡轮分子泵。

优选的，所述预抽控制阀一、控制阀二、预抽控制阀三、控制阀四均采用气动高真空挡板阀。

优选的，所述管道一、管道二、管道三、管道四均采用真空波纹管，真空波纹管两端均设置有连接法兰。