[实用新型]一种金属纳米粉生产用真空泵组

权利要求书

1.一种金属纳米粉生产用真空泵组，包括箱体，其特征在于：所述箱体上铰接设置有箱门，所述箱体顶部开设有穿管孔一，所述箱体顶部对应穿管孔一位置设置有抽气管一、抽气管二，所述箱体内沿水平方向设置有一个隔板，所述隔板将箱体内部隔成上腔室、下腔室，所述隔板上端面开设有两个安装槽，所述上腔室内对应安装槽位置设置有分子泵一、分子泵二，所述下腔室内并排设置有机械泵一、机械泵二，所述抽气管一通过管道一连接机械泵一，所述管道一上设置有用于控制管道一内气体流动的预抽控制阀一，所述抽气管一通过管道二依次连接分子泵一、机械泵一，所述管道二上设置有用于控制管道二内气体流动控制阀二；所述抽气管二通过管道三连接机械泵二，所述管道三上设置有用于控制管道三内气体流动的预抽控制阀三，所述抽气管二通过管道四依次连接分子泵二、机械泵二，所述管道二上设置有用于控制管道四内气体流动的控制阀四；所述箱体内还设置有水冷机构，所述水冷机构包括水冷箱、蛇型循环冷却管、循环抽液泵，所述水冷箱设置在箱体外侧壁上，所述水冷箱内设置有冷却液，所述隔板上开设有与蛇型循环冷却管符型的安装槽，所述蛇型循环冷却管嵌装在安装槽内，所述蛇型循环冷却管两端通过水冷管道与水冷箱相连，所述循环抽液泵设置在水冷管道上。

2.根据权利要求1所述的一种金属纳米粉生产用真空泵组，其特征在于：所述箱体底部设置有复合式安装板，所述箱体内壁上对应复合式安装板两侧位置设置有与复合式安装板厚度匹配的U型卡槽，所述复合式安装板顶部设置有用于固定机械泵一、机械泵二的固定座。

3.根据权利要求2所述的一种金属纳米粉生产用真空泵组，其特征在于：所述复合式安装板包括由下至上依次设置的耐磨橡胶层、缓冲泡沫层、固定金属层。

4.根据权利要求1所述的一种金属纳米粉生产用真空泵组，其特征在于：所述机械泵一、机械泵二均采用直联旋片真空泵。

5.根据权利要求1所述的一种金属纳米粉生产用真空泵组，其特征在于：所述分子泵一、分子泵二均采用涡轮分子泵。

6.根据权利要求1所述的一种金属纳米粉生产用真空泵组，其特征在于：所述预抽控制阀一、控制阀二、预抽控制阀三、控制阀四均采用气动高真空挡板阀。

7.根据权利要求1所述的一种金属纳米粉生产用真空泵组，其特征在于：所述管道一、管道二、管道三、管道四均采用真空波纹管，真空波纹管两端均设置有连接法兰。

8.根据权利要求1所述的一种金属纳米粉生产用真空泵组，其特征在于：所述箱体、箱门内壁上均设置有吸音隔音棉层，所述吸音隔音棉层的厚度为12～15mm。