[实用新型]真空分子泵抽速调节装置、真空分子泵和抽真空设备有效

专利信息
申请号: 201920781763.2 申请日: 2019-05-28
公开(公告)号: CN210003528U 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 黄传虎 申请(专利权)人: 东泰高科装备科技有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D27/00
代理公司: 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人: 彭瑞欣;姜春咸
地址: 102200 北京市昌平*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供一种真空分子泵抽速调节装置、真空分子泵和抽真空设备。该抽速调节装置包括固定机构和调节机构,固定机构包括入口和出口,入口和出口之间相贯通,出口端用于固定连接真空分子泵基体,且真空分子泵基体的真空抽吸口与出口之间相贯通;入口端固定连接调节机构;调节机构能够调节入口的开口尺寸,以调节真空分子泵基体的抽速。该真空分子泵抽速调节装置能使真空分子泵基体抽速的调节范围不再受限,同时还能确保真空分子泵基体的寿命最长。
搜索关键词: 真空分子泵 抽速 调节装置 固定机构 出口 贯通 本实用新型 抽真空设备 真空抽吸口 出口端 入口端 受限 开口
【主权项】:
1.一种真空分子泵抽速调节装置,其特征在于,包括固定机构(1)和调节机构(2),所述固定机构(1)包括入口(11)和出口(12),所述入口(11)和所述出口(12)之间相贯通,所述出口(12)端用于固定连接真空分子泵基体(3),且真空分子泵基体(3)的真空抽吸口(30)与所述出口(12)之间相贯通;所述入口(11)端固定连接所述调节机构(2);所述调节机构(2)能够调节所述入口(11)的开口尺寸,以调节真空分子泵基体(3)的抽速。/n
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