[实用新型]真空分子泵抽速调节装置、真空分子泵和抽真空设备

说明书

本实用新型提供一种真空分子泵抽速调节装置、真空分子泵和抽真空设备。该抽速调节装置包括固定机构和调节机构，固定机构包括入口和出口，入口和出口之间相贯通，出口端用于固定连接真空分子泵基体，且真空分子泵基体的真空抽吸口与出口之间相贯通；入口端固定连接调节机构；调节机构能够调节入口的开口尺寸，以调节真空分子泵基体的抽速。该真空分子泵抽速调节装置能使真空分子泵基体抽速的调节范围不再受限，同时还能确保真空分子泵基体的寿命最长。

技术领域

本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种真空分子泵抽速调节装置、真空分子泵和抽真空设备。

背景技术

PVD设备在真空环境下完成加工工艺，分子泵在PVD设备中广泛应用。为追求产品质量，设备需要在本体真空和工艺压力之间调节，通常通过调节分子泵转速的方式来调节气体的抽速，从而改变工艺压力。但是分子泵转速调节因分子泵的特性不同，调节范围有一定的限制；同时，分子泵的寿命也和自身转速有密切关系，运行在最佳转速时寿命最长，通过调节分子泵转速的方式调节工艺压力，对分子泵寿命有所影响。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中的问题，提供一种真空分子泵抽速调节装置、真空分子泵和抽真空设备。该真空分子泵抽速调节装置能使真空分子泵基体抽速的调节范围不再受限，同时还能确保真空分子泵基体的寿命最长。

本实用新型提供一种真空分子泵抽速调节装置，包括固定机构和调节机构，所述固定机构包括入口和出口，所述入口和所述出口之间相贯通，所述出口端用于固定连接真空分子泵基体，且真空分子泵基体的真空抽吸口与所述出口之间相贯通；所述入口端固定连接所述调节机构；所述调节机构能够调节所述入口的开口尺寸，以调节真空分子泵基体的抽速。

优选地，所述调节机构包括驱动部和挡板，所述驱动部连接所述挡板，所述驱动部固定在所述固定机构上，所述驱动部能驱动所述挡板转动，以使所述挡板完全盖合所述入口端或者部分盖合所述入口端。

优选地，所述固定机构包括腔体，所述入口和所述出口开设在所述腔体上，所述驱动部固定在腔体壁上；

所述挡板平行于所述入口所在面，所述挡板能在所述驱动部的驱动下在平行于所述入口所在面的面内转动。

优选地，所述入口与所述出口正对，所述真空抽吸口与所述出口正对。

优选地，所述驱动部包括电机，所述电机的动力输出轴连接所述挡板。

优选地，所述驱动部包括电机和磁流体轴，所述电机的动力输出轴连接所述磁流体轴，所述磁流体轴连接所述挡板。

优选地，所述电机为伺服电机。

优选地，所述伺服电机能读取调节过程中所述入口的实时开口尺寸，并能根据读取值控制所述挡板转动，以使所述入口的开口尺寸达到要求值。

本实用新型还提供一种真空分子泵，包括真空分子泵基体，还包括上述真空分子泵抽速调节装置，所述真空分子泵抽速调节装置连接所述真空分子泵基体的真空抽吸口。

本实用新型还提供一种抽真空设备，包括至少一套上述真空分子泵。

本实用新型的有益效果：本实用新型所提供的真空分子泵抽速调节装置，通过设置调节机构，能够调节固定机构入口的开口尺寸，从而调节真空分子泵基体的真空抽吸口的开口尺寸，继而实现对真空分子泵基体抽速的调节，相对于现有的真空分子泵抽速的调节方式，无需通过调节分子泵的转速实现对分子泵抽速的调节，从而使真空分子泵基体抽速的调节范围不再受限，同时还能确保真空分子泵基体运行在最佳转速，从而确保真空分子泵基体的寿命不会受到转速的影响，进而确保真空分子泵基体的寿命最长。

本实用新型所提供的真空分子泵，通过采用上述真空分子泵抽速调节装置，不仅能够实现对真空分子泵基体抽速的调节，而且使真空分子泵基体抽速的调节范围不再受限，同时还能确保真空分子泵基体的寿命最长。