[实用新型]真空分子泵抽速调节装置、真空分子泵和抽真空设备

权利要求书

1.一种真空分子泵抽速调节装置，其特征在于，包括固定机构(1)和调节机构(2)，所述固定机构(1)包括入口(11)和出口(12)，所述入口(11)和所述出口(12)之间相贯通，所述出口(12)端用于固定连接真空分子泵基体(3)，且真空分子泵基体(3)的真空抽吸口(30)与所述出口(12)之间相贯通；所述入口(11)端固定连接所述调节机构(2)；所述调节机构(2)能够调节所述入口(11)的开口尺寸，以调节真空分子泵基体(3)的抽速。

2.根据权利要求1所述的真空分子泵抽速调节装置，其特征在于，所述调节机构(2)包括驱动部(21)和挡板(22)，所述驱动部(21)连接所述挡板(22)，所述驱动部(21)固定在所述固定机构(1)上，所述驱动部(21)能驱动所述挡板(22)转动，以使所述挡板(22)完全盖合所述入口(11)端或者部分盖合所述入口(11)端。

3.根据权利要求2所述的真空分子泵抽速调节装置，其特征在于，所述固定机构(1)包括腔体(13)，所述入口(11)和所述出口(12)开设在所述腔体(13)上，所述驱动部(21)固定在腔体(13)壁上；

所述挡板(22)平行于所述入口(11)所在面，所述挡板(22)能在所述驱动部(21)的驱动下在平行于所述入口(11)所在面的面内转动。

4.根据权利要求1所述的真空分子泵抽速调节装置，其特征在于，所述入口(11)与所述出口(12)正对，所述真空抽吸口(30)与所述出口(12)正对。

5.根据权利要求2所述的真空分子泵抽速调节装置，其特征在于，所述驱动部(21)包括电机(211)，所述电机(211)的动力输出轴连接所述挡板(22)。

6.根据权利要求2所述的真空分子泵抽速调节装置，其特征在于，所述驱动部(21)包括电机(211)和磁流体轴(212)，所述电机(211)的动力输出轴连接所述磁流体轴(212)，所述磁流体轴(212)连接所述挡板(22)。

7.根据权利要求5或6所述的真空分子泵抽速调节装置，其特征在于，所述电机(211)为伺服电机。

8.根据权利要求7所述的真空分子泵抽速调节装置，其特征在于，所述伺服电机能读取调节过程中所述入口(11)的实时开口尺寸，并能根据读取值控制所述挡板(22)转动，以使所述入口(11)的开口尺寸达到要求值。

9.一种真空分子泵，其特征在于，包括真空分子泵基体，还包括权利要求1-8任意一项所述的真空分子泵抽速调节装置，所述真空分子泵抽速调节装置连接所述真空分子泵基体的真空抽吸口。

10.一种抽真空设备，其特征在于，包括至少一套权利要求9所述的真空分子泵。