[实用新型]一种引线框架的铜带的垂直曝光系统有效
| 申请号： | 201920771772.3 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN209911755U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 朱春阳;刘松源;黄伟;李昌文;徐治;陈迅;马伟凯;刘琪 | 申请（专利权）人： | 山东新恒汇电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 37223 淄博佳和专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙爱华 |
| 地址： | 255088 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种引线框架的铜带的垂直曝光系统，属于半导体生产技术领域。其特征在于：在暗箱（9）的两侧分别设置有进料轮（2）和收料轮（15），在暗箱（9）与进料轮（2）和收料轮（15）之间分别设置自由进料缓冲机构和收料缓冲机构，铜带（1）自进料轮（2）输出后经过进料缓冲机构后自暗箱（9）正上方的入口竖直进入暗箱（9）曝光；在暗箱（9）的正下方设置有动力轮组（11），铜带（1）曝光完成自暗箱（9）正下方的出口输出后经过动力轮组（11）以及收料缓冲机构后在收料轮（15）表面缠绕。在本引线框架的铜带的垂直曝光系统中，铜带竖直进入暗箱内进行曝光，避免了水平曝光时微尘降落到铜带表面形成沙孔弊端，提高了产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 铜带 暗箱 进料轮 收料轮 曝光 收料缓冲机构 动力轮组 缓冲机构 曝光系统 引线框架 竖直 垂直 半导体生产技术 输出 表面缠绕 产品品质 铜带表面 微尘 降落 自由 出口 | ||
【主权项】：
1.一种引线框架的铜带的垂直曝光系统，其特征在于：包括暗箱（9），在暗箱（9）的两侧分别设置有进料轮（2）和收料轮（15），在暗箱（9）与进料轮（2）之间设置有进料缓冲机构，在暗箱（9）与收料轮（15）之间设置有收料缓冲机构，待曝光的铜带（1）自进料轮（2）输出后经过进料缓冲机构后自暗箱（9）正上方的入口竖直进入暗箱（9）曝光；/n在暗箱（9）的正下方设置有动力轮组（11），铜带（1）曝光完成自暗箱（9）正下方的出口输出后经过动力轮组（11）以及收料缓冲机构后在收料轮（15）表面缠绕。/n
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