[实用新型]一种用于PVT法生长碳化硅晶体的装料装置有效
| 申请号： | 201920760798.8 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN210341128U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 尚远航;路亚娟 | 申请（专利权）人： | 河北同光晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 戴凤仪 |
| 地址： | 071000 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于PVT法生长碳化硅晶体的装料装置，包括底座、桩杆、测量尺、卡槽、盛放槽、坩埚、筛网壳、筛网、第一固定杆、平整扇外壳、第二固定杆、转轴和平整扇。本实用新型的有益效果是：平整扇焊接设置在转轴的底部并与平整扇外壳之间呈转动连接，且转轴上设置有“Z”型摇杆并与平整扇直接进行焊接连接，防止粉料填装到坩埚中不可避免会存在局部高堆积密度的部分，颗粒在该部分会结合在一起，这样也会导致升华气体的面内组份不均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 pvt 生长 碳化硅 晶体 装料 装置 | ||
【主权项】：
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