[实用新型]一种用于PVT法生长碳化硅晶体的装料装置

权利要求书

1.一种用于PVT法生长碳化硅晶体的装料装置，其特征在于：包括底座(1)、桩杆(2)、测量尺(3)、卡槽(4)、盛放槽(5)、坩埚(6)、筛网壳(7)、筛网(8)、第一固定杆(9)、平整扇外壳(10)、第二固定杆(11)、转轴(12)和平整扇(13)；所述底座(1.1)位于桩杆(2)的底部，所述桩杆(2)焊接设置在底座(1)上，所述测量尺(3)位于桩杆(2)的表面上，所述卡槽(4)设置在桩杆(2)内，所述盛放槽(5)呈内凹式设置在底座(1)的中间部位，所述坩埚(6)位于盛放槽(5)内，所述筛网壳(7)构成筛网(8)的主体结构，所述筛网(8)位于筛网壳(7)上，所述第一固定杆(9)焊接设置在筛网壳(7)的顶面，所述平整扇外壳(10)构成平整扇(13)的主体结构，所述第二固定杆(11)焊接设置在平整扇外壳(10)的顶面，所述转轴(12)焊接设置在平整扇外壳(10)的顶部端口处，所述平整扇(13)连接设置在转轴(12)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种用于PVT法生长碳化硅晶体的装料装置，其特征在于：所述桩杆(2)通过高温一次性焊压的方式焊接在底座(1)上，且桩杆(2)以盛放槽(5)为中心并互呈60度夹角。

3.根据权利要求1所述的一种用于PVT法生长碳化硅晶体的装料装置，其特征在于：所述卡槽(4)呈向内凹陷式设置在桩杆(2)上并设置有多个，且多个卡槽(4)之间呈等距竖直设置并位于测量尺(3)中间。

4.根据权利要求1所述的一种用于PVT法生长碳化硅晶体的装料装置，其特征在于：所述筛网(8)是由不同粒径的筛网组成，且该筛网(8)通过第一固定杆(9)与卡槽(4)相互卡扣结合进行连接固定。

5.根据权利要求1所述的一种用于PVT法生长碳化硅晶体的装料装置，其特征在于：所述平整扇(13)焊接设置在转轴(12)的底部并与平整扇外壳(10)之间呈转动连接，且转轴(12)上设置有“Z”型摇杆并与平整扇(13)直接进行焊接连接。