[实用新型]一种硅片清洗架有效

专利信息
申请号: 201920747001.0 申请日: 2019-05-22
公开(公告)号: CN210701366U 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 黄辉;梁会宁;杨定勇;朱庆龙;宋江 申请(专利权)人: 扬州晶樱光电科技有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00
代理公司: 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 代理人: 龚建良
地址: 225600 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片清洗架,包括减震架,顶板和移动板,顶板上方左右有两侧安装有水箱,水箱左侧设置有水管,水管通过固定器与顶板固定连接,且水管的底部设置有喷头,顶板下方左右两侧安装有垫板B,垫板B下方焊接有承重杆,承重杆设置有滑槽A,且承重杆底部通过螺栓与固定架固定连接,固定架通过固定板与滑槽B固定连接,转轴设置有三组,传动杆的长度为30厘米,安装块设置有两组,且均与功能箱为可拆卸安装,该实用新型的功能箱内设置了风扇,风扇可以在硅片的晾干过程中加速水分的蒸发,帮助硅片更快达到清洁目的,在功能箱外侧,有散热板与防水板,保证了风扇不会在工作中因水短路,也保证其使用寿命。
搜索关键词: 一种 硅片 清洗
【主权项】:
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