[实用新型]一种硅片清洗架有效

专利信息
申请号: 201920747001.0 申请日: 2019-05-22
公开(公告)号: CN210701366U 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 黄辉;梁会宁;杨定勇;朱庆龙;宋江 申请(专利权)人: 扬州晶樱光电科技有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00
代理公司: 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 代理人: 龚建良
地址: 225600 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 清洗
【说明书】:

实用新型公开了一种硅片清洗架,包括减震架,顶板和移动板,顶板上方左右有两侧安装有水箱,水箱左侧设置有水管,水管通过固定器与顶板固定连接,且水管的底部设置有喷头,顶板下方左右两侧安装有垫板B,垫板B下方焊接有承重杆,承重杆设置有滑槽A,且承重杆底部通过螺栓与固定架固定连接,固定架通过固定板与滑槽B固定连接,转轴设置有三组,传动杆的长度为30厘米,安装块设置有两组,且均与功能箱为可拆卸安装,该实用新型的功能箱内设置了风扇,风扇可以在硅片的晾干过程中加速水分的蒸发,帮助硅片更快达到清洁目的,在功能箱外侧,有散热板与防水板,保证了风扇不会在工作中因水短路,也保证其使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及硅片相关技术领域,具体为一种硅片清洗架。

背景技术

通常,当硅棒切割成硅片后,需要将整刀的多块硅片从多线切割机上取下来,之后转移到水池进行清洗,然后又再次转移到脱胶池脱胶。这样,在清洗和脱胶的过程中,容易发生硅片互相碰撞、多片倾倒在一起、多片掉落的现象,导致硅片损伤报废。目前市场上得技术产品中,大多数为集中式清洗装置,很难达到同一批次的硅片产品全部洗干净,在后续的生产环节中潮湿的硅片又会影响生产操作,浪费操作人员的宝贵时间,为此,本实用新型提出一种硅片清洗架用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗架,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片清洗架,包括减震架,顶板和移动板,所述顶板上方左右有两侧安装有水箱,所述水箱左侧设置有水管,所述水管通过固定器与顶板固定连接,且水管的底部设置有喷头,所述顶板下方左右两侧安装有垫板B,所述垫板B下方焊接有承重杆,所述承重杆设置有滑槽A,且承重杆底部通过螺栓与固定架固定连接,所述固定架通过固定板与滑槽B固定连接,所述滑槽B与移动板滑动连接,所述移动板上下两侧均匀设置有卡扣A,所述卡扣A与连接杆相焊接,所述连接杆与夹板通过铆钉固定连接,所述夹板与夹块相焊接,所述顶板左右两侧均安装有支架,所述支架与减压垫固定连接,所述减压垫与支柱镶嵌连接,所述支柱底部均设置有防滑垫,所述减震架下方左右两侧均焊接有支撑块,所述减震架下方焊接有底板,所述减震架右侧安装有控制器,所述减震架上方左右两侧安装有功能箱。

优选的,所述功能箱还包括风扇、转轴、垫板A、螺母、旋转轴、卡套A、传动杆、安装板、卡扣B、电机、固定槽、卡套B、焊接板和安装块,所述功能箱左侧底部安装有固定槽,所述固定槽上方通过转轴与卡套B固定连接,所述卡套B与电机相焊接,所述电机通过转轴与焊接板和安装块固定连接,所述安装块通过卡扣B与安装板固定连接,所述安装块上方通过传动杆与卡套A固定连接,所述卡套A焊接在旋转轴下方,旋转轴通过转轴与风扇转动连接,所述旋转轴通过安装块与垫板A固定连接,所述垫板A通过螺母与功能箱固定连接。

优选的,所述转轴设置有三组,所述传动杆的长度为30厘米,所述安装块设置有两组,且均与功能箱为可拆卸安装。

优选的,所述功能箱还包括干燥剂、滤网、防水板和散热板,所述干燥剂与右侧滤网相胶合,所述滤网与散热板相焊接,所述散热板与右侧防水板相胶合。

优选的,所述滤网的孔径大小为5毫米,所述干燥剂由硅胶组成,所述散热板由硅片组成。

优选的,所述滑槽A的行程为20厘米,所述滑槽B的行程为30厘米,且移动板和固定架均为不锈钢材料。

优选的,所述卡扣A设置有18组且关于移动板上下对称,所述固定板设置有四组,且关于移动板左右对称。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1.该实用新型支柱底部的防滑垫有效保证了装置在使用过程中不会因为意外倒塌对操作人员造成伤害,确保了装置的安全性,同时减震架的设置保证了仪器在操作时的稳定,不会因仪器的震动造成零件的损伤。

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