[实用新型]一种硅片清洗架

权利要求书

1.一种硅片清洗架，包括减震架(9)，顶板(17)和移动板(23)，其特征在于：所述顶板(17)上方左右有两侧安装有水箱(1)，所述水箱(1)左侧设置有水管(2)，所述水管(2)通过固定器(18)与顶板(17)固定连接，且水管(2)的底部设置有喷头(16)，所述顶板(17)下方左右两侧安装有垫板B(15)，所述垫板B(15)下方焊接有承重杆(4)，所述承重杆(4)设置有滑槽A(14)，且承重杆(4)底部通过螺栓(22)与固定架(24)固定连接，所述固定架(24)通过固定板(21)与滑槽B(25)固定连接，所述滑槽B(25)与移动板(23)滑动连接，所述移动板(23)上下两侧均匀设置有卡扣A(26)，所述卡扣A(26)与连接杆(20)相焊接，所述连接杆(20)与夹板(27)通过铆钉固定连接，所述夹板(27)与夹块(19)相焊接，所述顶板(17)左右两侧均安装有支架(3)，所述支架(3)与减压垫(13)固定连接，所述减压垫(13)与支柱(6)镶嵌连接，所述支柱(6)底部均设置有防滑垫(7)，所述减震架(9)下方左右两侧均焊接有支撑块(8)，所述减震架(9)下方焊接有底板(10)，所述减震架(9)右侧安装有控制器(12)，所述减震架(9)上方左右两侧安装有功能箱(5)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗架，其特征在于：所述功能箱(5)还包括风扇(52)、转轴(53)、垫板A(54)、螺母(55)、旋转轴(56)、卡套A(57)、传动杆(58)、安装板(59)、卡扣B(510)、电机(511)、固定槽(512)、卡套B(513)、焊接板(514)和安装块(515)，所述功能箱(5)左侧底部安装有固定槽(512)，所述固定槽(512)上方通过转轴(53)与卡套B(513)固定连接，所述卡套B(513)与电机(511)相焊接，所述电机(511)通过转轴(53)与焊接板(514)和安装块(515)固定连接，所述安装块(515)通过卡扣B(510)与安装板(59)固定连接，所述安装块(515)上方通过传动杆(58)与卡套A (57)固定连接，所述卡套A(57)焊接在旋转轴(56)下方，旋转轴(56)通过转轴(53)与风扇(52)转动连接，所述旋转轴(56)通过安装块(515)与垫板A(54)固定连接，所述垫板A(54)通过螺母(55)与功能箱(5)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗架，其特征在于：所述转轴(53)设置有三组，所述传动杆(58)的长度为30厘米，所述安装块(515)设置有两组，且均与功能箱(5)为可拆卸安装。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗架，其特征在于：所述功能箱(5)还包括干燥剂(51)、滤网(516)、防水板(517)和散热板(518)，所述干燥剂(51)与右侧滤网(516)相胶合，所述滤网(516)与散热板(518)相焊接，所述散热板(518)与右侧防水板(517)相胶合。

5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗架，其特征在于：所述滤网(516)的孔径大小为5毫米，所述干燥剂(51)由硅胶组成，所述散热板(518)由硅片组成。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗架，其特征在于：所述滑槽A(14)的行程为20厘米，所述滑槽B(25)的行程为30厘米，且移动板(23)和固定架(24)均为不锈钢材料。

7.根据权利要求1所述的一种硅片清洗架，其特征在于：所述卡扣A(26)设置有18组且关于移动板(23)上下对称，所述固定板(21)设置有四组，且关于移动板(23)左右对称。