[实用新型]差压传感器有效
| 申请号： | 201920736473.6 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN210166071U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 闫文明 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/00 | 分类号： | G01L13/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 袁文婷;王迎 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种差压传感器，包括由上盖板、工字型挡墙和基板形成的封装结构，上盖板与工字型挡墙形成第一腔室，工字型挡墙与基板形成第二腔室，在第一腔室设置有MEMS芯片，在第二腔室设置有ASIC芯片，其中，在上盖板上设置有第一透气孔，在工字型挡墙的横梁上设置有第二透气孔，在基板上设置有第三透气孔；MEMS芯片设置在工字型挡墙的横梁上，并且MEMS芯片与第二透气孔相连通。利用本实用新型，能够解决现有的差压传感器由于结构设置，封装应力对MEMS芯片和ASIC芯片有影响而导致差压传感器性能差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 | ||
【主权项】：
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