[实用新型]一种原子级别粉末改性设备

摘要

本实用新型公开了一种原子级别粉末改性设备，包括前驱体源注入管、滑动座、不锈钢旋转腔和石英玻璃反应腔室主体，所述滑动座内部的两端均设置有滑动槽，且滑动槽的内部均设置有底座，所述压力传感器和控制柜的输出端均通过导线与PLC控制系统的输入端电性连接，所述PLC控制系统的输出端通过导线与旋转电机的输入端电性连接。本实用新型通过在石英玻璃反应腔的一侧设置有前封盖，同时在石英玻璃反应腔主体的另一侧设置有后封盖，同时石英玻璃反应腔与前封盖以及后封盖之间均通过装配螺栓固定连接，同时不锈钢旋转腔的两侧均通过不锈钢旋转接头与进气管和旋转轴固定连接，使得本装置可以拆卸，便于检修。