[实用新型]一种原子级别粉末改性设备

权利要求书

1.一种原子级别粉末改性设备，包括前驱体源注入管(3)、滑动座(8)、不锈钢旋转腔(21)和石英玻璃反应腔室主体(24)，其特征在于：所述滑动座(8)内部的两端均设置有滑动槽(27)，且滑动槽(27)的内部均设置有底座(7)，所述底座(7)底部的两端均安装有滑动滚轮(26)，所述底座(7)的顶端均连接有支撑杆(6)，所述滑动座(8)顶端的一侧固定有固定杆(12)，且固定杆(12)的顶端安装有底板(15)，所述固定杆(12)的一侧安装有控制柜(14)，且控制柜(14)的内部安装有PLC控制系统(13)，所述底板(15)的顶端安装有旋转电机(17)，且旋转电机(17)的输出端通过转轴与旋转轴(18)固定连接，所述支撑杆(6)的上方设置有石英玻璃反应腔室主体(24)，且支撑杆(6)的顶端均与石英玻璃反应腔室主体(24)的底端固定连接，所述石英玻璃反应腔室主体(24)内部的两侧均安装有加热保温装置(10)，所述石英玻璃反应腔室主体(24)的一侧设置有前封盖(5)，且前封盖(5)的一侧均匀连接有前驱体源注入管(3)，所述前驱体源注入管(3)上安装有手动阀(1)，且手动阀(1)的一侧安装有压力传感器(2)，所述石英玻璃反应腔室主体(24)的另一侧设置有后封盖(16)，且后封盖(16)一侧的底端连接有抽气管(4)，所述石英玻璃反应腔室主体(24)与前封盖(5)以及石英玻璃反应腔室主体(24)与后封盖(16)之间均通过装配螺栓(11)固定连接，所述石英玻璃反应腔室主体(24)内部的两侧均设置有定位环(22)，且定位环(22)的内部皆均匀设置有导向滚轮(25)，所述定位环(22)的内部之间设置有不锈钢旋转腔(21)，且不锈钢旋转腔(21)的一侧安装有实心面板(23)，所述实心面板(23)的一侧设置有实心面板(23)，且实心面板(23)的一侧均匀设置有进气管(9)，所述进气管(9)远离实心面板(23)的一端均与前驱体源注入管(3)相连通，所述不锈钢旋转腔(21)的另一侧设置有多孔面板(20)，所述实心面板(23)的一侧和多孔面板(20)的一侧分别通过不锈钢旋转接头(19)与进气管(9)和旋转轴(18)固定连接，所述压力传感器(2)和控制柜(14)的输出端均通过导线与PLC控制系统(13)的输入端电性连接，所述PLC控制系统(13)的输出端通过导线与旋转电机(17)的输入端电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种原子级别粉末改性设备，其特征在于：所述前封盖(5)和后封盖(16)与石英玻璃反应腔室主体(24)之间通过装配螺栓(11)构成拆卸安装结构，同时前封盖(5)和后封盖(16)的尺寸相同。

3.根据权利要求1所述的一种原子级别粉末改性设备，其特征在于：所述定位环(22)在石英玻璃反应腔室主体(24)的内部设置有2组，同时定位环(22)关于不锈钢旋转腔(21)的中心线对称分布，导向滚轮(25)在定位环(22)的内侧呈等间距排列，不锈钢旋转腔(21)的外侧壁与导向滚轮(25)的外侧壁贴合。

4.根据权利要求1所述的一种原子级别粉末改性设备，其特征在于：所述石英玻璃反应腔室主体(24)与不锈钢旋转腔(21)处于同一中轴线。

5.根据权利要求1所述的一种原子级别粉末改性设备，其特征在于：所述滑动滚轮(26)之间的间距小于滑动槽(27)内部的宽度，同时底座(7)通过滑动滚轮(26)与底座(7)的内部构成滑动结构。