[实用新型]一种原子级别粉末改性设备

说明书

本实用新型公开了一种原子级别粉末改性设备，包括前驱体源注入管、滑动座、不锈钢旋转腔和石英玻璃反应腔室主体，所述滑动座内部的两端均设置有滑动槽，且滑动槽的内部均设置有底座，所述压力传感器和控制柜的输出端均通过导线与PLC控制系统的输入端电性连接，所述PLC控制系统的输出端通过导线与旋转电机的输入端电性连接。本实用新型通过在石英玻璃反应腔的一侧设置有前封盖，同时在石英玻璃反应腔主体的另一侧设置有后封盖，同时石英玻璃反应腔与前封盖以及后封盖之间均通过装配螺栓固定连接，同时不锈钢旋转腔的两侧均通过不锈钢旋转接头与进气管和旋转轴固定连接，使得本装置可以拆卸，便于检修。

技术领域

本实用新型涉及纳米材料改性技术领域，具体为一种原子级别粉末改性设备。

背景技术

纳米科学的发展已成为各国科技界关注的重点，随着社会发展的需要，纳米科学已经与其它各学科如材料学、药学、医学、电子学、生物学等相互融合渗透形成了纳米材料学、纳米药学、纳米医学、纳米电子学以及纳米生物学，其中，纳米材料在各个领域的应用已取得了相当大的进展，纳米材料因其热性能及力学性能强也被运用广泛于各个技术领域，但因粒径也比较小，容易团聚，限制了它的使用，必须要选择合适的手段对其进行表面改性，已增强其在技术领域中的运用，纳米材料的改性拥有着良好的发展势头，也是当今的研究热点，纳米材料的改性研究将给社会的发展与进步带来很大的推动力，纳米改性材料产品的市场前景极为乐观。

现有的粉末改性设备存在许多问题或缺陷：1、传统的体材料的表面改性的方法有：表面化学包覆法、沉淀反应改性法、机械化学改性法、复合法等，改性的工艺中需要使用很多的表面改性剂，也会产生大量的废气和污水；2、传统的粉末改性设备无法做到原子级别的表面改性，无法精确控制粉末改性的膜厚及化学成分；3、传统的粉末改性设备无法在不同规格的热场氛围，既可以实现在低温范围内的薄膜包覆又可以实现在高温范围内的后处理；

现在提出一种新型的原子级别粉末改性设备，它基于原子层沉积技术，对微纳粉体材料进行研究及改性系统进行设计，以提高纳米粉体分散性，减少粉体团聚现象，改进界面结合性，大幅提升纳米粉体的表面性能，项目设计了规格可调的可旋转的内部反应腔体及热场氛围，采用多路独立的前驱体源反应管路设计实现不同的前驱体源至反应腔的输送，该纳米粉体改性系统可配备远程等离子体系统，可以实现微纳粉体材料改性前预处理，然后进行粉体材料表面的改性，智能化、自动化程度更高，所得到的纳米粉体界面结合性改进效果优越、分散性能更强，改性完成后可根据需要进行高温退火等后处理。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种原子级别粉末改性设备，以解决上述背景技术中提出传统工艺方法会产生大量的废气和污水、无法精确控制粉末改性的膜厚及化学成分以及无法在不同规格的热场氛围，既可以实现在低温范围内的薄膜包覆又可以实现在高温范围内的后处理的问题。