[实用新型]一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统

摘要

本实用新型提供了一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，包括：真空蠕动泵和多个净化组件；通过设置真空蠕动泵，使得固体紫外激光器腔体内部的空气循环，同时设置多个净化组件，通过矿物干燥剂去除循环空气中的水分，通过活性炭及分子筛去除有机气体分子，通过活性铁粉去除氧分子，从而达到对腔内的空气高度净化的目的；通过设置第四净化组件，防止颗粒物进入到真空蠕动泵造成污染；通过设置第五净化组件，防止颗粒进入固体紫外激光器腔体内部；整个装置与固体紫外激光器腔体形成循环通路，长时间的循环工作能够将二次污染降到最低，确保完全与外界隔离。