[实用新型]一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统

说明书

本实用新型提供了一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，包括：真空蠕动泵和多个净化组件；通过设置真空蠕动泵，使得固体紫外激光器腔体内部的空气循环，同时设置多个净化组件，通过矿物干燥剂去除循环空气中的水分，通过活性炭及分子筛去除有机气体分子，通过活性铁粉去除氧分子，从而达到对腔内的空气高度净化的目的；通过设置第四净化组件，防止颗粒物进入到真空蠕动泵造成污染；通过设置第五净化组件，防止颗粒进入固体紫外激光器腔体内部；整个装置与固体紫外激光器腔体形成循环通路，长时间的循环工作能够将二次污染降到最低，确保完全与外界隔离。

技术领域

本实用新型涉及有限小空间的空气净化，具体的涉及一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统。

背景技术

为保证紫外激光器长期稳定运行，要求腔内所有光学器件都能有较长的寿命及较低的损坏比率，特别是其中极易损伤的三倍频晶体。因此腔内环境的洁净处理极为重要。现有技术中一般都采用了密封处理并添加干燥剂的措施。

但是仅仅采取密封处理并添加干燥剂这种方法存在以下问题：

仅用干燥剂对水分的去除作用不彻底，且对固体颗粒及有机气体等分子没有去除作用；固体激光器腔内由于元件较多，空气影响因素除了空气本身的湿度、粉尘度及有机气体浓度外，还有元件所引入的二次污染物，特别是在腔内高辐射环境中才会产生的二次污染物。这里的元件包括线材、电路板、导热胶和粘接胶等。因此固体激光器腔内空气净化处理只针对空气本身是远远不够的。

实用新型内容

为达到上述技术目的，本实用新型提供了一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，解决了背景技术中的问题。

一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，包括：真空蠕动泵和多个净化组件；

所述真空蠕动泵的输入端与固体紫外激光器腔体一端相连通，相邻的两个所述净化组件串联形成净化通道，所述真空蠕动泵的输出端通过所述净化通道与所述固体紫外激光器腔体的另一端相连通。

优选的，多个净化组件包括第一净化组件、第二净化组件和第三净化组件，所述第一净化组件、第二净化组件和第三净化组件均为装有不同净化介质的罐体，所述罐体与罐体之间通过软管连接。

优选的，所述第一净化组件、第二净化组件和第三净化组件的罐体内部分别装有矿物干燥剂、活性炭和活性铁粉。

优选的，所述第一净化组件、第二净化组件和第三净化组件的罐体上均配置有与所述罐体拆卸连接的密封盖。

优选的，多个净化组件还包括第四净化组件，所述第四净化组件设置在所述真空蠕动泵的输入端与固体紫外激光器腔体之间。

优选的，所述第四净化组件为内部拆卸安装有至少一层过滤网的密封罐体，所述第四净化组件的密封罐体一端通过软管与所述固体紫外激光器腔体连接，另一端通过软管与真空蠕动泵的输入端连接。

优选的，多个净化组件还包括第五净化组件，所述第五净化组件设置在所述第三净化组件与所述固体紫外激光器腔体之间。

优选的，所述第五净化组件为内部拆卸安装有至少一层过滤网的密封罐体，所述第五净化组件的密封罐体一端通过软管与所述第三净化组件连接，另一端通过软管与所述固体紫外激光器腔体连接。

本实用新型具有如下优点或有益效果：

1)本实用新型提供的一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，通过设置真空蠕动泵，使得固体紫外激光器腔体内部的空气循环，同时设置多个净化组件，通过矿物干燥剂去除循环空气中的水分，通过活性炭及分子筛去除有机气体分子，通过活性铁粉去除氧分子，从而达到对腔内的空气高度净化的目的；

2)通过设置第四净化组件，能够有效对颗粒物进行过滤，防止颗粒物进入到真空蠕动泵造成污染，从而影响真空蠕动泵的工作状态；