[实用新型]一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统

权利要求书

1.一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，其特征在于，包括：真空蠕动泵(1)和多个净化组件；

所述真空蠕动泵(1)的输入端与固体紫外激光器腔体一端相连通，相邻的两个所述净化组件串联形成净化通道，所述真空蠕动泵(1)的输出端通过所述净化通道与所述固体紫外激光器腔体的另一端相连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，其特征在于，多个净化组件包括第一净化组件(2)、第二净化组件(3)和第三净化组件(4)，所述第一净化组件(2)、第二净化组件(3)和第三净化组件(4)均为装有不同净化介质的罐体，所述罐体与罐体之间通过软管连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，其特征在于，所述第一净化组件(2)、第二净化组件(3)和第三净化组件(4)的罐体内部分别装有矿物干燥剂、活性炭和活性铁粉。

4.根据权利要求2所述的一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，其特征在于，所述第一净化组件(2)、第二净化组件(3)和第三净化组件(4)的罐体上均配置有与所述罐体拆卸连接的密封盖。

5.根据权利要求2所述的一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，其特征在于，多个净化组件还包括第四净化组件(5)，所述第四净化组件(5)设置在所述真空蠕动泵(1)的输入端与固体紫外激光器腔体之间。

6.根据权利要求5所述的一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，其特征在于，所述第四净化组件(5)为内部拆卸安装有至少一层过滤网的密封罐体，所述第四净化组件(5)的密封罐体一端通过软管与所述固体紫外激光器腔体连接，另一端通过软管与真空蠕动泵(1)的输入端连接。

7.根据权利要求2所述的一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，其特征在于，多个净化组件还包括第五净化组件(6)，所述第五净化组件(6)设置在所述第三净化组件(4)与所述固体紫外激光器腔体之间。

8.根据权利要求7所述的一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统，其特征在于，所述第五净化组件(6)为内部拆卸安装有至少一层过滤网的密封罐体，所述第五净化组件(6)的密封罐体一端通过软管与所述第三净化组件(4)连接，另一端通过软管与所述固体紫外激光器腔体连接。