[实用新型]一种适用于半导体制程废气处理设备有效
| 申请号： | 201920705640.0 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN210473565U | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 席涛涛;王继飞;杨春水;陈彦岗;杨春涛;章文军;张坤;闫萧;蔡传涛;王磊 | 申请（专利权）人： | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/58;B01D53/46;B01D53/68;B01D47/06 |
| 代理公司： | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 | 代理人： | 郑直 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用型新公开一种适用于半导体制程废气处理设备，涉及废气处理领域，包括前水洗设备、热反应设备、后水洗设备和水循环设备，增加前水洗设备，能够提前处理可溶于水的气体以及去除粉尘物，并采用6路直管进气即降低进气量波动影响又防止堵塞，制程气体是从反应腔体底部进入反应腔，能够提前预热气体，增加气体中水汽含量，使反应更充分，部分水淋采用循环水，进水使用一路新水，并且使用一个水泵进行水设备循环和排污，降低成本，减少耗能，节约水资源；在传输管道上进行气体冷却，防止洗涤器过热；本实用型新优化了传统废气处理设备，更利于半导体制程废气的处理，且降低成本，减少耗能，提升处理效果，并增大制程气体的处理量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 半导体 废气 处理 设备 | ||
【主权项】：
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