[实用新型]一种适用于半导体制程废气处理设备

说明书

本实用型新公开一种适用于半导体制程废气处理设备，涉及废气处理领域，包括前水洗设备、热反应设备、后水洗设备和水循环设备，增加前水洗设备，能够提前处理可溶于水的气体以及去除粉尘物，并采用6路直管进气即降低进气量波动影响又防止堵塞，制程气体是从反应腔体底部进入反应腔，能够提前预热气体，增加气体中水汽含量，使反应更充分，部分水淋采用循环水，进水使用一路新水，并且使用一个水泵进行水设备循环和排污，降低成本，减少耗能，节约水资源；在传输管道上进行气体冷却，防止洗涤器过热；本实用型新优化了传统废气处理设备，更利于半导体制程废气的处理，且降低成本，减少耗能，提升处理效果，并增大制程气体的处理量。

技术领域

本实用新型涉及废气处理领域，具体涉及一种适用于半导体制程废气处理设备。

背景技术

半导体制造工艺中需要使用多种特殊的气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，工艺气体有硅烷、磷化氢、三氢化砷、氨、三氯化硼、氯、二氯磺酞、四氯化硅、氢化硫、三氯甲苯、碘化硫；酸性液体有HF、H₂SO₄、HCL、HNO3；碱性液体有NH₄OH、N_aOH;溶剂有丙酮、二甲苯、IPA、PGMEA、NMP等。

这些气体和化学品在半导体制造工艺中，如果不通过集中收集并且处理，将造成严重的问题，将会影响人体的身体健康，造成环境污染。

目前市场上的尾气处理设备往往存在以下问题：进气口和进气管道数量少，在制程气体的气量波动较大时，容易造成处理不充分；进气管道采用弯管，容易被粉尘结晶堵塞；反应腔体外面使用隔热锡纸包裹，长期处在高温状态下会发出刺鼻的气味；采用单个加热棒对反应腔进行加热，容错率低；水路采用新鲜水和冷却水，管路不仅多而且密集，控制回路也相应复杂，同时需要配合多组水泵，成本高，耗能大，且用水量大；酸排一次洗涤处对尾气处理使用鲍尔环，采用物理吸附法，把固体颗粒进行吸附，由于一次洗涤的洗涤塔温度比较高，容易造成鲍尔环融化。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种移动通信基站，增加前水洗设备，能够提前处理可溶于水的气体以及去除粉尘物，并采用6路直管进气即降低进气量波动影响又防止堵塞，反应腔体增大并且制程气体是从反应腔体底部进入反应腔，能够提前预热气体，增加气体中水汽含量，使反应更充分，部分水淋采用循环水，进水使用一路新水，并且使用一个水泵进行水设备循环和排污，降低成本，减少耗能，节约水资源；在传输管道上进行气体冷却，防止洗涤器过热；本实用型新优化了传统废气处理设备，更利于半导体制程废气的处理，且降低成本，减少耗能，提升处理效果，并增大制程气体的处理量。

一种适用于半导体制程废气处理设备，包括前水洗设备、热反应设备、后水洗设备和水循环设备，所述水循环设备包括水箱、新水进水管道、污水出水管道、水泵和阻隔板，所述水泵安装于水箱内，所述新水进水管道直接与水箱连通，所述污水出水管道与水泵连接；

所述前水洗设备包括废气进气管、进气水淋喷头和集气箱，所述废气进气管通过集气箱与水箱连通，所述进气水淋喷头设在废气进气管内；

所述热反应设备包括热反应箱、加热棒、过程气体烟囱和传输管道，所述热反应箱内为反应腔和回流腔，所述过程气体烟囱与热反应箱固定连接，且过程气体烟囱下端与水箱连通，上端开口并位于反应腔内，所述加热棒固定连接在热反应箱上，所述传输管道固定连接在热反应箱的侧下方，并与反应腔连通，且传输管道上还设有冷却水淋喷头，所述热反应箱的底部还固定连接有加热箱进水管道，所述加热箱进水管道的两端分别与水泵和回流腔连通；

所述后水洗设备包括下洗涤器、上洗涤器、下水淋喷头和上水淋喷头，所述下洗涤器的下端与水箱连通，上端与上洗涤器连通，且下洗涤器还通过传输管道与热反应箱连通，所述下水淋喷头设在下洗涤器内，所述上水淋喷头设在上洗涤器内。

优选的，所述废气进气管共设有六根，且每两根废气进气管共同连接在一个集气箱上。